Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824452 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 293824452
Metal Chemical Vapor Deposition (CVD) system.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine computergesteuerte Plasmaätzmaschine. Dieses System wurde exklusiv für den Einsatz in Forschungslabors entwickelt und ermöglicht eine einfache und genaue Prozessoptimierung, die es dem Anwender ermöglicht, gewünschte Ätz- und Ascheprofile zu erreichen, ohne die Leistung der Einheit zu beeinträchtigen. Sein umfassendes Design umfasst Funktionen, die seine Benutzererfahrung verbessern, wie die automatische Wafer-Positionserkennung und eine grafische Benutzeroberfläche. TEL Trias ist mit einer leistungsstarken automatisierten Ätz- und Aschequellentechnologie ausgestattet, die es dem Anwender ermöglicht, höchste Präzision und Kontrolle zu erzielen. Mit einem fortschrittlichen Plasma-Bearbeitungsreaktor mit robusten Kammerkomponenten sorgt das Werkzeug für gleichmäßige und qualitativ hochwertige Ergebnisse in wenigen Minuten. Darüber hinaus bietet TOKYO ELECTRON Trias ein breites Prozessfenster mit verschiedenen Parametern, das sich einfach anpassen lässt und dem Anwender die Möglichkeit bietet, individuelle Prozessparameter für detaillierte Ätz- oder Ascheprofile feinabzustimmen. Trias verfügt über eine ultraschnelle Quellumschaltzeit, die programmierbar ist, sodass der Benutzer in der Mitte seines Prozesses ohne Leistungseinbußen zwischen Quellen wechseln kann. Die Anlage enthält auch einen Vakuumdichtungsmechanismus, der Gasaustritte durch Luftinfiltration oder versehentliches Anheben der Kammer verhindert. Seine revolutionäre Wafer-Positionserfassungstechnologie berücksichtigt den Waferwinkel, wodurch der Anwender das bestmögliche Ätz- oder Ascheprofil erzielen kann. Für die Benutzerfreundlichkeit verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Trias über ein intuitives Touchpanel-Display, das die grafische Darstellung der Ätz-/Ascheprozessparameter vergrößert und das Lesen und Verstehen erleichtert. Das Modell unterstützt auch OPC-Daten und öffnet Werkzeuge für die externe Gerätesteuerung, die den aktuellen Ätzprozess rationalisieren können. Darüber hinaus kann TEL Trias Programmiereingänge von einem separaten Terminal empfangen, so dass Benutzer zusätzliche Quellgerätemanipulation und Prozessisolierungssteuerung durchführen können. TOKYO ELECTRON Trias ist ein hochentwickeltes und genaues Plasmaätzer-Ascher-System, das ein umfassendes Toolset für Forschungslabore bietet. Mit seiner branchenführenden Technologie und Unterstützung für exklusive Funktionen wie Wafer-Positionserkennung und OPC-Datenkommunikation ist Trias ein unverzichtbares Werkzeug für jeden Forscher, der die höchste Prozessoptimierung erreichen möchte.
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