Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9118411 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Hochgeschwindigkeitsätzer/Ascher, der konsistente Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien liefert, einschließlich Metallen, Halbleitermaterialien und keramischen Substraten. Es verwendet fortschrittliche Vakuumätztechnologie, um hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Der Ätzer/Ascher kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, wie z.B. Sputterätzen, Photolackplanarisierung nach dem Ätzen oder Stoppätzen, Filmspannungsentlastung und Bilden von Ausnehmungen in schwer zugänglichen Bereichen. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Vakuumausrüstung ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Ätz-/Aschebereichs ermöglicht. Es verfügt über eine erweiterte Ätzkammer und einen Vakuumschild, der Reinraumniveaus innerhalb des Systems beibehält. Darüber hinaus ist es mit einer optischen Einheit und Auto-Collimation Probe (ACP) ausgestattet, um die Ätzbedingungen genau zu messen und einzustellen. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einem leistungsstarken Hochfrequenz-HF-Generator ausgestattet, um Energie zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien bereitzustellen. Der Ätzvorgang wird von einer integrierten Rechnermaschine überwacht und gesteuert, die auch zur Feinabstimmung von Ätzparametern entsprechend dem zu bearbeitenden Material verwendet werden kann. Das Tool ist auch mit Software ausgestattet, um Verarbeitungsparameter anzupassen, Ätzrate zu messen und Verarbeitungsergebnisse zu kompilieren. Dieser Ätzer/Ascher ist mit verschiedenen Funktionen und Werkzeugen ausgestattet, die den Einsatz für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglichen. Es verfügt beispielsweise über ein Gasgut zur Einleitung von Reaktivgasen in die Ätzkammer sowie über ein chemisches Abgabemodell zur Zugabe von Chemikalien beim Ätzen. Darüber hinaus ist es mit einer hochtemperaturanodisierenden Kammer ausgestattet, mit der Wafer und andere Materialien geätzt und planarisiert werden können. In Bezug auf die Sicherheit wurde TEL Trias mit Sicherheitsmerkmalen wie einem speziellen Nothalt (E-STOP) zum Stoppen des Ätzers/Aschers, einer ozonfreien Abgasanlage und einer automatischen Abschaltfunktion, die den HF-Generator bei konformen Problemen ausschaltet, konzipiert. Das System verfügt außerdem über eine automatische Sicherheitseinheit zur Erkennung gefährlicher Ozonwerte. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Trias ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, konsistente Ätzergebnisse auf einer breiten Palette von Materialien zu erzielen. Es wird mit der fortgeschrittenen Ätzentechnologie, den Sicherheitseigenschaften und den verschiedenen Werkzeugen ausgestattet, um das andere Ätzen und die Ashing-Prozesse zu behandeln, es eine ausgezeichnete Wahl für das verschiedene Halbleitergerät Produktionsanwendungen machend.