Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es wird verwendet, um Muster auf Silizium-Wafern zu erzeugen und zu modifizieren, typischerweise bei Submikron-Abmessungen, während des Wafer-Herstellungsprozesses. TEL Trias ist eine vierseitige Waferätzmaschine, die Ultra-Hochvakuum-Kompatibilität und Hochgeschwindigkeitsdurchsatz zu einem kompakten Werkzeug kombiniert. Seine robuste Konstruktion bietet einen langfristigen Prozess. TOKYO ELECTRON Trias ist in der Lage, Temperaturen von -20 ° C bis 600 ° C, ermöglicht eine breite Palette von Prozessoperationen einschließlich Ätzen, Oxidation, Diffusion und Implantation. Trias ist mit einem 80-MHz-Quarzresonator zur zeitabhängigen Verarbeitung sowie einer Reihe weiterer zeitsparender Funktionen wie automatisierter Waferübertragung und einem zentralen Datenmanagementsystem ausgestattet. Diese Eigenschaften sorgen dafür, dass TEL/TOKYO ELECTRON Trias einfach zu warten ist und einen zuverlässigen Betrieb mit minimalen Ausfallzeiten ermöglicht. TEL Trias reagiert schnell und präzise auf Änderungen der Prozessbedingungen. Seine doppelte Sprühkathodenauslegung erfordert nur zwei Prozessgase und ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzrate über einen großen Bereich des Betriebsdrucks. Eine reine Sauerstoffquelle mit niedriger Temperatur und hoher Leistung minimiert das thermische Budget und sorgt für stabile Prozessbedingungen. TOKYO ELECTRON Trias bietet auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, die die Sicherheit und Sicherheit des Bedieners gewährleisten. Ein integriertes RFID-Lesegerät schützt den Bediener von der Waferoberfläche und ein Prozesskammerfilter schützt die Umgebung durch die Erfassung von ultrafeinen Partikeln. Durch die Rationalisierung und Automatisierung des Ätzprozesses sorgt Trias für Flexibilität, Wiederholbarkeit und Wirtschaftlichkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seinen Flexibilitäts-, Leistungs- und Sicherheitsmerkmalen ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung moderner Halbleiterbauelemente.