Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9216068 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein vollautomatischer Systemätzer/Ascher für die Prozessintegration. Es bietet fortschrittliche Geräteherstellungstechnologie, mit einem hohen Maß an Präzision für Ätz- und Ascheprozessoptimierung. Die Anlage liefert durch optimierte Phasenverschiebungen und Prozessparameter einheitliche Ätz- und Ascheprozessergebnisse. Es ist mit parallelen Lastschlössern ausgestattet, die eine gleichzeitige Beladung mehrerer Substratgrößen ermöglichen. Die Ätz- und Aschefähigkeit wird durch ein fortschrittliches Active Level Control System (ALCS) weiter verbessert, das die Echtzeit-Überwachung der Prozessbedingungen nutzt und die Temperaturgenauigkeit der Proben von +/- 0,1 ° C aufrechterhält. Das Gerät ist in der Lage, einzelne Wafer- und kontinuierliche Waferprozessanwendungen gleichzeitig zu ätzen und zu waschen, wobei die Ätzrate mit einer Genauigkeit von 1000 Angström steuerbar ist. Die Konsistenz des Ätz- und Ascheprozesses wird durch eine Hochleistungs-Ionenpistole und eine fortschrittliche Abgaskomponente aufrechterhalten. Die Maschine bietet eine breite Palette von Prozesschemien zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialarten. Das Werkzeug wurde entwickelt, um ein hochgenaues Ätzen von gemusterten und nicht gemusterten Substraten durchzuführen. Die Dual-Focus-Optik ermöglicht das Ätzen bei unterschiedlichen Merkmalsdichten mit feiner Liniengenauigkeit und optischer Ausrichtung. Das optisch induzierte Coulomb-Potential ermöglicht eine präzise Steuerung des Kantenabschlusses bei der Ätz- und Profilsteuerung. Das Modell ist mit einer unabhängig gesteuerten Heizeinrichtung ausgestattet, um die Substrattemperatur zu halten. Das System integriert auch eine vollautomatische Plasmaätzkammer und eine fortschrittliche Ionenquelle zum Ätzen von Submikron-Merkmalsgrößen. Eine hohe Präzisionswiederholbarkeit wird durch die Verwendung eines mehrfachen Düsenätzkopfes erreicht, der mit einer Abgaskomponente gekoppelt ist. Mit seinem hohen Verarbeitungsdurchsatz und der pulsbasierten Ätztechnik liefert das Gerät in kürzester Zeit hervorragende Ätzergebnisse. Darüber hinaus bietet die Maschine auch erweiterte Sicherheitsfunktionen wie erweiterten ESD-Schutz, umfassendes Gassicherheitswerkzeug und fortschrittliche Plasmaabschirmung, die einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ermöglichen. Zusammenfassend bietet TEL Trias asset ein unschätzbares Werkzeug für die Prozessintegration, das fortschrittliche Geräteherstellungstechnologien mit einer beispiellosen Präzision und Konsistenz bereitstellt. Das Modell ist in seinen Anwendungen sehr vielseitig einsetzbar und bietet hervorragende Leistungsmerkmale mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen, verbesserten Sicherheits- und Umweltschutzfunktionen und hohem Durchsatz.