Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9225844 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein fortschrittliches Ätzgerät/Ascher weit verbreitet in der Front-End-Halbleiter-Produktionsprozess verwendet. Es ist ein Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozessmodul, das sowohl Plasmaätz- als auch Trockenascheprozesse in einem hocheffizienten Modul anbietet. Dieses System umfasst eine Prozesskammer, ein Vakuumpumpenpaket, ein Kammersteuergerät, eine Stromversorgungseinrichtung und eine Bedienerkonsole. Die Prozesskammer von TEL Trias wird mit größter Aufmerksamkeit auf steife Konstruktionsanforderungen gebaut und ist auf eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Ätzprozesses ausgelegt. Seine Struktur umfasst eine triverkleidete Vakuumkammer und Metallkammerbasen mit robuster Partikelsteuerung für einen zuverlässigen Dünnschichtätzprozess. Die Kammerwände sind mit Nickel zur chemischen Verträglichkeit und Langzeitanwendung sowie einem hohen Widerstand, der die Ätzprozessgenauigkeit verbessern kann, plattiert. Das Vakuumpaket des Systems ist so konzipiert, dass es eine zuverlässige und stabile Maschinenumgebung bietet und mit TEL-exklusiven Technologien wie einer variablen Drosselvakuumpumpe und mehreren Drosselstellen ausgestattet ist, um Ausfallzeiten zu reduzieren und die Präzision von Ätzprozessen zu erhöhen. Die Kammersteuerung ist mit einer ausgeklügelten Mehrparameter-Steuerungssoftware zur Optimierung von Prozessoptimierung, Temperatur- und Druckregelung sowie der Wiederholbarkeit von Prozessabläufen programmiert. Die Stromversorgungsausrüstung des ELEKTRONS VON TOKIO Trias schließt Quell- und Quellstromversorgung der Elektronzyklotronklangfülle (ECR) ein, die durch RF High-End-Hochfrequenzmachtverstärker gesteuert wird. Dadurch wird ein stabiler und gleichmäßiger Ätzprozess gewährleistet, der die Herstellung hoher Ausbeuten ermöglicht. Die ECR-Quelle bietet auch verschiedene Source-Elektroden-Designs, um effiziente Prozesse und überlegene Gleichmäßigkeit bei hohen Verarbeitungsgeschwindigkeiten zu schaffen. Die Bedienerkonsole von Trias bietet eine einfache, intuitive Benutzeroberfläche für ein nahtloses, einfaches Benutzererlebnis. Es verfügt über eine integrierte Prozessbibliothek zur schnellen Datenverwaltung sowie zur kompletten Prozessparametersteuerung. Die Konsole ermöglicht zudem eine umfangreiche Prozessüberwachung und frühzeitige Problemerkennung sowie den Zugriff auf Datenprotokolldateien zur vollständigen Prozessnachverfolgbarkeit. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias ein effizienter und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der den modernen Halbleiterherstellungsprozess unterstützt. Seine hohe Haltbarkeit und Leistung macht es zu einer idealen Wahl sowohl für die Front-End-und Back-End-Teile der Halbleiterherstellung.