Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235229 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer oder Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist für eine Vielzahl von Ätzprozessen konzipiert, einschließlich Resiststreifen, Nassätzen, Sputterätzen und Descum. Unter Verwendung von Hochfrequenzleistung (RF) können TEL Trias-Geräte präzise, wiederholbare Ätzergebnisse erzielen. Das System besteht aus einer Prozesskammer, einer Vakuumpumpe, einem HF-Generator und einer ionisierbaren Gasfördereinheit. Es kann bis zu vier Wafer gleichzeitig in der Prozesskammer aufnehmen. Die Prozesskammer ist temperaturgeregelt, vielseitig und sowohl prozess- als auch umweltverschmutzungsbeständig. Darüber hinaus ist die TOKYO ELECTRON Trias Maschine mit einer Vakuumpumpe ausgestattet, die bis zu 5 x 10-6 Torr erreichen kann. Der HF-Generator erzeugt einstellbare Leistungsstufen, die einer Reihe von Prozessanforderungen entsprechen, von Niederleistungs-Nassätzen bis hin zu hoher Leistung für schnellere Entfernungsraten. Die HF-Leistung wird der Probe über zwei unabhängig voneinander einstellbare planare Elektroden zugeführt, wodurch komplexe Muster leicht geätzt werden können. Die Gaszufuhranlage des Werkzeugs ermöglicht eine präzise Kontrolle der Ätzrate und Endpunkterkennung für eine präzise Endpunktkontrolle. Dieses Gasliefermodell hilft auch, unerwünschte Effekte aus dem Ätzprozess zu minimieren. Die Trias-Ausrüstung umfasst ein Softwarepaket zur Prozessvisualisierung, das in der Lage ist, Produktrezepte zu speichern, die geätzte Struktur zu analysieren und Ergebnisse in Echtzeit darzustellen. Dieses Softwarepaket ermöglicht eine einfache Steuerung und Überwachung des gesamten Ätzprozesses und bietet Anwendern eine vielseitige Plattform für präzise, wiederholbare Ätzaufträge. Insgesamt ermöglicht das TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ätzsystem eine präzise und wiederholbare Herstellung von Halbleiterbauelementen mit benutzerfreundlicher Prozesssteuerung und einer einfach zu bedienenden Schnittstelle. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist das Gerät ein leistungsfähiges Werkzeug für effiziente und zuverlässige Ätzoperationen.