Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235248 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für eine effiziente und präzise Inline-Verarbeitung. Dieses System nutzt die Elektronenstrahltechnologie zum hochauflösenden Mustern und Ätzen von Materialien auf einer Vielzahl von Substraten. Das robuste Design des Geräts sorgt für zuverlässige Ergebnisse für kritische mikroelektronische Anwendungen, einschließlich Photomasken, Ausrichtschichten und Rückschleifen. TEL Trias Maschine besteht aus vier Schlüsselkomponenten: die Elektronenstrahlsäule, die Ionenemissionsseite, die lineare Abtaststufe und das Gasverteilungswerkzeug. Die Elektronenstrahlsäule besteht aus einer elektromechanischen Einheit, die sowohl eine schnelle Bewegung als auch eine hohe Genauigkeit für eine präzise Ausrichtung oder Nanopatterie bietet. Die Ionenemissionsseite enthält einen linearen Ionenstrahlgenerator und Detektoren sowie Ionenaustauscher- und Emissionsenergie-Steuerungskomponenten. Die lineare Abtaststufe trägt die Elektronenstrahlsäule über das Substrat, um wiederholte Strukturierungsoperationen durchzuführen. Schließlich speichert, versorgt und reinigt der Gasverteiler das Prozessgas zur Strukturierung des Substrats. Alle diese Komponenten kombinieren, um TOKYO ELECTRON Trias Modell ein schnelles und genaues Werkzeug für die Implementierung kritischer Geräteprozesse zu machen. Trias-Ausrüstung verfügt auch über eine erweiterte Prozesssteuerungsschnittstelle. Es ist in der Lage, den Ätzprozess in Echtzeit zu überwachen und zu steuern, und ermöglicht es Benutzern, Parameter schnell anzupassen, den Fortschritt des Prozesses zu überwachen und maximale Präzision sicherzustellen. Darüber hinaus liefert das in das System integrierte fortgeschrittene Datenanalyseprogramm umfassende Gerätedaten, die als Grundlage für die Optimierung des Ätzprozesses dienen. Alle diese Eigenschaften machen TEL/TOKYO ELECTRON Trias Einheit zu einem idealen Werkzeug zum präzisen Ätzen und Mustern von Materialien auf einer Vielzahl von Substraten. Insgesamt ist TEL Trias eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für eine effiziente und präzise Inline-Verarbeitung entwickelt wurde. Es kombiniert die Vielseitigkeit der Elektronenstrahltechnologie, die überlegene Genauigkeit der linearen Abtaststufe und die erweiterten Prozessüberwachungsfunktionen des Datenanalyseprogramms, um ein leistungsfähiges Werkzeug zu schaffen, das Materialien auf praktisch jedem Substrat genau ätzen und mustern kann. Darüber hinaus erleichtert die fortschrittliche Prozesssteuerungsschnittstelle die Steuerung des Ätzprozesses und die Optimierung der Geräteleistung als je zuvor.