Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235251 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9235251
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
System, 12" Process: Metal 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine hochmoderne Ätz- und Ascheeinrichtung für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen und -anwendungen. Das System kann eine Vielzahl von Materialien ätzen und aschen, darunter Metalle, Oxide und Polymere. Es kann auch verwendet werden, um extrem präzise Mikrostrukturen wie Linien, Löcher, Gruben und Funktionen zu erstellen. Das Gerät wird von einer fortschrittlichen Plasmaquelle angetrieben, die Hochfrequenz (RF), Mittelfrequenz (MF) und Gleichstrom (DC) -Stromquellen mit einer Vielzahl von Ätz- und Aschechemie-Konfigurationen kombiniert. Die Plasmaquelle ist in hohem Maße einstellbar, so dass die Anwender ihre Ätz- und Ascheprozesse fein abstimmen können. Die Maschine wird mit einer Vakuumkammer, einem Duschwerkzeug, einem Sichtgerät, einem Lastschloss und einer Prozesssteuerung geliefert. Das Modell verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer ihre Prozesse schnell einrichten und beheben können. Alle Parameter sind über einen weiten Bereich einstellbar, einschließlich Ätz- und Ascherimpulsbreiten, Linien- und Raumbreiten sowie andere kritische Ätz- und Aschereaktionseigenschaften. Die Ausrüstung verfügt auch über in situ Messung und Kontrolle von Ätz- und Aschevervollständigungspunkten. Die automatisierten Entscheidungsalgorithmen des Systems ermöglichen es ihm, jede Prozessinstabilität zu antizipieren, zu präventivieren und zu vermeiden, wodurch ein jahrelanger zuverlässiger und kosteneffizienter Betrieb gewährleistet wird. Das flexible Design des Geräts ermöglicht zudem eine einfache Modifizierung und Modernisierung mit den neuesten Prozessanlagen und Entwicklungen in der Ätz- und Aschenbranche. Schließlich wird die Maschine von einem globalen Netzwerk von Kundendienstingenieuren und Technikern unterstützt, um sicherzustellen, dass Benutzer das Beste aus ihren Ätz- und Aschersystemen herausholen. TEL Trias ist eine fortschrittliche Lösung für eine Vielzahl von Halbleiterätz- und -veraschungsprozessen und -anwendungen und bietet Anwendern hervorragende Prozessleistung, Langlebigkeit und eine kostengünstige Investition.
Es liegen noch keine Bewertungen vor