Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671 zu verkaufen

ID: 9241671
Wafergröße: 12"
CVD System, 12" (4) Process chambers (TiN) Front end station Transfer module (4) Additional chambers included.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine vollautomatische Ätzmaschine, die die fortschrittlichen Technologien des Ätzens, Musterns und Strippens zu einer direkten Ausrüstung kombiniert. Dieses kompakte und dennoch robuste System zeichnet sich durch die neuesten Entwicklungen in der Ätztechnik sowie eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine präzise Verarbeitung aus. Dadurch ist es sehr vielseitig einsetzbar und ideal für verschiedene Anwendungen in der Halbleiterindustrie. TEL Trias verfügt über die neuesten Ätztechnologien wie plasmareaktives Ionenätzen (RIE) und chemische Dampfabscheidung (CVD). Es enthält auch ein Quarzboot, ein Potentiostat und eine Stromversorgungseinheit, die eine vollständige Kontrolle über den Musterübertragungsprozess ermöglicht. Dank seiner innovativen Laser-Adressierungsfunktion ist TOKYO ELECTRON Trias in der Lage, die Präzision im Mikrometer-Maßstab zu ätzen und zu mustern. Trias ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter ein fortschrittlicher Lecksucher und eine Druckmessanlage sowie ein vollständig geschlossener Bearbeitungsraum. Diese Eigenschaften sorgen dafür, dass die Atmosphäre sicher und frei von gefährlichen Partikeln ist und eine optimale Oberflächenreinheit gewährleistet. Die Benutzeroberfläche in TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist intuitiv und einfach zu bedienen und ermöglicht maximale Effizienz und Produktivität. Das obere Panel ist farbgetastet und in vier Abschnitte unterteilt, wodurch Zugriff auf alle Ethernet- und SPS-Geräteeinstellfunktionen gewährt wird. Der große Touchscreen-Monitor vereinfacht den Bedienvorgang weiter. TEL Trias bietet eine Reihe von optionalen Funktionen, wie ein automatisches Substrat/Muster-Transfer-Tool, ein Elektrometer-Asset und eine integrierte Bandfähigkeit. Diese Funktionen bieten noch mehr Leistung und Flexibilität für eine Vielzahl von Prozessanwendungen. TOKYO ELECTRON Trias ist eine hochentwickelte und vielseitige Ätzmaschine, die modernste Ätz- und Mustertechnologien zu einem kompakten Modell kombiniert. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, einer Fülle von optionalen Funktionen und erweiterten Sicherheitsfunktionen ist Trias perfekt für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsaufgaben.
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