Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261887 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine fortschrittliche, flexible Plattform für Plasmaätz- und Ascheprozesse. Es wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen der heutigen anspruchsvollen Plasmaascher und Ätzer Anwendungen gerecht zu werden. Seine modulare Bauweise und robuste Bauweise machen es in einer Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen sehr zuverlässig, mit der Fähigkeit, Wafer in der Größe von 4 „bis 8“ zu verarbeiten. Zu den fortschrittlichen Merkmalen von TEL Trias gehört ein langlebiger Quarzkeramikschildeinsatz, der eine Schutzschicht zwischen dem flüchtigen Plasma und der Prozesskammer bietet. Diese Auskleidungen eliminieren die chemische Rückdiffusion, wodurch die Ausrüstung vorzugsweise für die empfindlichsten Prozesse geeignet ist. Es weist auch eine zum Patent angemeldete HF-Elektroden-Konstruktion auf, die eine maximale Energiekontrolle beim Ätzen und Aschen gewährleistet. Die Elektroden weisen eine geringe Induktivität auf und weisen eine optimierte obere Elektrodenauslegung auf, die gleichmäßige Ätz- und Aschevorgänge gewährleistet. Zusätzlich zu diesen Merkmalen verfügt TOKYO ELECTRON Trias über eine turbulenzarme Gasströmung, die die Gleichmäßigkeit des Ätz- und Ascheprozesses und die Wiederholbarkeit optimiert, indem ein turbulenzarmes Gasströmungsmuster erzeugt wird. Der Gasstrom trägt dazu bei, die über den Wafer verteilte Ungleichmäßigkeit zu minimieren, was zu gleichmäßigen Prozessergebnissen mit höheren Ausbeuten führt. Das System verfügt zudem über eine breite Palette von Prozessparametern, so dass der Anwender den Ätz- und Ascheprozess für verschiedene Anwendungen anpassen kann. Das erweiterte Softwarepaket führt den Bediener durch jeden Schritt, von der Prozesskonfiguration bis zum Laden und Verarbeiten von Beispielen. Diese Flexibilität ermöglicht es dem Anwender, Trias einfach an seine spezifischen Bedürfnisse anzupassen oder schnell einen neuen Prozess zu entwickeln. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias eine fortschrittliche, zuverlässige Ätz-/Aschereinheit. Seine Kombination von Eigenschaften macht es für eine Vielzahl von Prozessanforderungen geeignet, und seine flexible Bedienung macht es einfach zu konfigurieren und zu bedienen. Mit dieser Maschine können Anwender sicher sein, dass sie gleichbleibend hochwertige Ergebnisse erhalten, unabhängig von der spezifischen Anwendung.