Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9261888
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Metal CVD system, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der einen hohen Durchsatz, bewährte Langzeitleistung und überlegene Prozessausbeuten bietet. Das Gerät verfügt über eine automatisierte Systemarchitektur, die es Anwendern ermöglicht, schnell die Ätz- und Ascheprozesse zu wechseln und die Fähigkeiten des Geräts zu erweitern. Mit einem Mehrkammerdesign ist die Maschine in der Lage, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse gleichzeitig durchzuführen und den Anwendern maximale Auslastung und Flexibilität in ihren Produktionslinien zu bieten. TEL Trias zeichnet sich durch eine hervorragende Einheitlichkeit der Ätzrate aus, so dass Benutzer mit einer begrenzten Chargengröße und einer hohen Ätzrate für Dünnlinienaspekte und eine einheitliche Kornausrichtung ätzen können. Die automatische Kammerschalter-Technologie ermöglicht es Benutzern, Zykluszeiten so klein wie eine Sekunde durchzuführen, wodurch das Werkzeug effizienter wird. Zudem optimiert das Asset Produktionsprozesse auf Basis komplexer Designrichtlinien, steigert die Produktqualität und Zuverlässigkeit. Das Modell ist mit einer hochpräzisen Roboterplattform mit direktem Antrieb und einer fortschrittlichen Ein-/Ausgangskontrollausrüstung ausgestattet, mit der Benutzer komplexe Muster mit hoher Genauigkeit programmieren können. Die von der Direktantrieb-Roboterplattform gemessene Ätzrate ist äußerst genau und reduziert die Fehlermarken bei der Liniendesign. Darüber hinaus ist das System auch mit einer PPF (Process Parameter File) -Funktion ausgestattet, mit der Benutzer Prozessparameter replizieren können, wenn sie von einer Kammer zur anderen wechseln. Das Gerät ist robust und zuverlässig, mit einer Bewegungssteuerungsmaschine mit Rückkopplungsschleife, minimaler Einstellpulszeit, hocheffizientem Leistungstreiber und fortschrittlichen Jog-Run-Systemen. Benutzer können Laufzeiten auch an ihre Produktionsanforderungen anpassen. Darüber hinaus ist das Tool mit fortschrittlichen SPC (Statistical Process Control) und Optimierungsmöglichkeiten ausgestattet, um die Produktqualität und Prozesseffizienz weiter sicherzustellen. TOKYO ELECTRON Trias eignet sich hervorragend für Anwendungen wie Präzisionsätzen und Plasmaaschen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, seiner robusten Konstruktion und seiner Benutzerfreundlichkeit hilft Trias Anwendern, gewünschte Produkte mit erhöhten Prozesserträgen und verbesserter Produktqualität zu erzielen.
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