Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9284866 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9284866
Wafergröße: 12"
Metal CVD system, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer von TEL, einem führenden Halbleiterausrüster. TEL Trias ist ein mittelgroßer Ätzer, der zum Ätzen kritischer Schichten in Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Seine geringe Größe macht es ideal für den Einsatz auf Produktionslinien, während seine fortschrittlichen Eigenschaften, wie sein hoher Durchsatz, machen es für hochpräzise Ätzprozesse geeignet. TOKYO ELECTRON Trias ist in der Lage, Ätzungen mit kleinen Längen zu produzieren, und verfügt über eine breite Palette von Ätz- und Prozessfähigkeiten, die es für das Ätzen von High-End-Anwendungen wie fortschrittliche Halbleiterbauelementherstellung geeignet machen. Der Ätzer bietet verschiedene Ätztechniken an, wie isotropes Trockenätzen, Reaktionenätzen (RIE) und Naßätzen. Trias können konfiguriert und angepasst werden, um eine Reihe von verschiedenen Filmen zu verarbeiten, von dünnen Dielektrika bis zu ultradünnen Schichten aus Silizium. Darüber hinaus umfasst TEL/TOKYO ELECTRON Trias eine Reihe von Technologien, wie Multi-Method Process Automation und Edge-Profile-Optimized Interface (EPOI), die eine optimale Anpassung des Ätzers an bestimmte Ätzprozesse ermöglichen. TEL Trias ist mit Präzisionsmesssystemen ausgestattet, die es ermöglichen, die Ätzrate, die Gleichmäßigkeit, das Dotierungsprofil und andere Prozessparameter genau zu messen. Diese Systeme ermöglichen es TOKYO ELECTRON Trias auch, Prozesskonsistenz und Stabilität aufrechtzuerhalten. Der Ätzer verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Brand- und Gaserkennungs- und Überdrucksensoren, um die Sicherheit der Produktionsumgebung zu gewährleisten. Trias ist auch mit einer Reihe von erweiterten Funktionen ausgestattet, wie die Möglichkeit, mehrere Ätzprozesse auszuwählen, Follow-up-Prozesssteuerung, Rezepterstellung und automatische Prozessoptimierung. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, Rezepte schnell anzupassen, um komplexe Ätzmuster zu erstellen und die Effizienz und Produktivität des gesamten Ätzprozesses weiter zu verbessern. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias ein idealer Ätzer für mittelgroße Produktionslinien. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten machen es für kritische Ätzprozesse geeignet und seine Fähigkeit, auf verschiedene Prozesse zugeschnitten zu sein, kombiniert mit seinen Mess- und Sicherheitssystemen, machen es zu einem geeigneten gut ausgestatteten System zum Ätzen von hochpräzisen Halbleiterbauelementen.
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