Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294442 zu verkaufen

ID: 9294442
Metal CVD system, 12" UV Cure 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein branchenführender Ätzer/Ascher, der für die Halbleiterherstellung verwendet wird. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Kupfer, Wolfram, Titan usw. zu verarbeiten. Es verwendet zwei unterschiedliche Verfahren - eines, bei dem Material auf dem Substrat abgeschieden wird und das andere, bei dem das Material vom Substrat weggeätzt wird -, um Merkmale mit Auflösungen von bis zu 70 Nanometern zu mustern. Dies macht es zu einer idealen Wahl für die fortschrittlichen Technologieknoten, die in der heutigen Halbleiterproduktion verwendet werden. TEL Trias ist ein halbautomatisches Werkzeug mit einer hocheffizienten und präzisen digitalen Steuerung. Mit seiner patentierten Halbleitertechnologie kann es ein hohes Maß an Wiederholbarkeit und Genauigkeit beim Ätzen und Aschen von Merkmalen erreichen. Das Tool enthält eine Reihe von Funktionen und Zubehör, die eine erhöhte Automatisierung und Anpassung ermöglichen, einschließlich eingebetteter Vorkalibrierungsroutinen und Netzwerkkonnektivitätsoptionen. Es hat auch einen modularen Aufbau und eine flexible Prozesskammer, die es zu einem Werkzeug macht, das leicht an verschiedene Anwenderanforderungen angepasst werden kann. TOKYO ELECTRON Trias verfügt zudem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer schnell verschiedene Bearbeitungsparameter einrichten und die Werkzeugleistung überwachen können. Es verwendet eingebettete Atomkraftmikroskopie (AFM) -Technologie, die eine hochauflösende Abbildung von Nanomusterergebnissen ermöglicht. Schließlich hat es die Integration mit mehreren branchenführenden Softwarepaketen, einschließlich CAD/CAM, EDA und PDK-Software sowie direkte Unterstützung für GDSII/OASIS-Format-Dateien. Abschließend ist Trias ein fortschrittlicher und vielseitiger Ätzer/Ascher. Seine effiziente digitale Steuerung, modulare Bauweise, intuitive GUI und mehrere integrierte Funktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung kleiner und komplexer Muster in Halbleiterherstellungsprozessen. Seine High-End-Funktionen und Fähigkeiten ermöglichen Anwendern große Flexibilität und Kontrolle während der Asche- und Ätzprozesse, was zu hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit führt.
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