Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311187 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine hochmoderne Ätz- oder Aschemaschine, die für fortschrittliche Anwendungen der Mikro- und Nanofabrikation entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, flexible Ätzchemie-Optionen sowie eine präzise Prozesssteuerung in einer einzigen Plattform bereitzustellen. Das einzigartige Doppelkammerdesign ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung für eine Vielzahl von Substraten in Wafergröße und Ätzchemie. Die obere Kammer beherbergt die Ätzprozesschemie, während die untere Kammer den Kühl- und Gasantrieb beherbergt, um Verarbeitungsparameter zu regeln. Das Gerät bietet eine präzise Steuerung der Ätzparameter, die sicherstellt, dass die Ätzergebnisse im Substratbereich mit wiederholbarer Gleichmäßigkeit wiederholbar sind. TEL Trias unterstützt eine Vielzahl von Ätzchemikalien, wie Trockenaschen, nasse Fast-Overspill-Ätzung (NOS), nasschemisches Ätzen sowie Plasmaätzen. Diese Ätzchemie ermöglicht es, verschiedene Arten von Materialien mit ihrer vollständigen Kompatibilität in einer einzigen Maschine geätzt werden. TOKYO ELECTRON Trias ist auch entworfen, um benutzerfreundlich zu sein, mit einem automatisierten Prozess Rezeptgenerator und Echtzeit-Prozess-Überwachung. Trias bietet auch fortschrittliche Zeitersparnis Technologien wie Load-Lock Auto-Loader, die die Wafer Ladezeit reduziert und Verunreinigungen durch manuelle Übertragung zu beseitigen. Darüber hinaus ist die Maschine auch mit einem mehrreihigen Ladewerkzeug ausgebildet, das es ermöglicht, mehrere Wafer gleichzeitig zu beladen und so den Ätzvorgang zu beschleunigen. Diese Maschine hat auch die Fähigkeit, bis zu 1000 Rezepte zu speichern, so dass es einfach, Chargen zu wiederholen. TEL/TOKYO ELECTRON Trias bietet auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, die für fortgeschrittene Ätz-/Ascheanwendungen unerlässlich sind. Die Anlage verfügt über Temperatur-, Druck- und Gaskontrollsysteme, die eine präzise Parameterabstimmung, eine erhöhte Asche-/Ätzgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit ermöglichen. Das Modell verfügt auch über ultrapräzise Bewegung von Wafer-Stufen und genaue Zeitsteuerung. TEL Trias bietet auch die Möglichkeit der Remote-Fehlerdiagnose, so dass Techniker und Ingenieure Fehler schnell erkennen und Abhilfemaßnahmen ergreifen können. Diese Maschine ist auch für Reinraum Umwelt Sicherheit bewertet, so dass es für Reinraum Nutzung geeignet. Darüber hinaus ist die mehrsprachige Oberfläche und die umfassende Bedienungsanleitung einfach zu bedienen und zu warten. TOKYO ELECTRON Trias ist eine hochentwickelte Ausrüstung, die den Anforderungen fortschrittlicher Mikro- und Nanofabrikationsanwendungen gerecht wird. Es bietet flexible Ätzchemie, präzise Prozesssteuerung und Zeitersparnis sowie zuverlässige Fehlerdiagnostik. Mit seinen benutzerfreundlichen Funktionen und umfassenden Steuerungsfunktionen ist dieses Ätz-/Aschesystem eine ideale Wahl für fortgeschrittene Forschungs- und Entwicklungsoperationen.