Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311193 zu verkaufen
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ID: 9311193
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Metal CVD system, 12"
Process: Metal
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer/Ascher, der in Mikrofabrikationsprozessen verwendet wird. Sein Zweck ist die Entfernung von dünnen Materialfilmen von einer Oberfläche. Durch Ätzen wird die Oberfläche eines Materials durch kontrolliertes Entfernen von Atomen und Molekülen geformt. TEL Trias, von TEL, ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher mit überlegener Leistung und hoher Ätzrate Kapazität. Es ist ein Mehrzweck-Ätzer/Entferner aus einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Metallen, Halbleitern, Isolatoren, Resist und Polymeren. TOKYO ELECTRON Trias besteht aus einer Vakuumkammer, einer Gasverteilungseinrichtung, einem computergesteuerten System, einem Plasmagenerator und einer Elektrodenheizung. Der Plasmagenerator erzeugt ein Plasmafeld in der Kammer und ist die Energiequelle für den Ätzprozess. Der Ätzvorgang wird dann durch Einstellung der Parameter wie Gasfluss, Druck, Gastemperatur und Elektrodenheizung gesteuert. Die Electroformed Nickel (ENI) -Kammer von Trias ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und präziser Kontrolle. Das Prozessfach wird durch die Zerostop Ringdichtungen weiter verstärkt, was sowohl die Stabilität als auch die Prozesszeit des Geräts erhöht. TEL/TOKYO ELECTRON Trias verfügt über eine hochentwickelte computerbasierte Steuerungsmaschine, die dem Benutzer maximale Kontrolle über den Ätzprozess bietet. Sein Datenkontrollwerkzeug erfasst, speichert und steuert alle Parameter im Zusammenhang mit dem Prozess und kann auch bis zu 1 GB Prozessrezepte speichern, die einfach über USB übertragen werden können. TEL Trias kann eine breite Palette von Substraten wie Glas, Dünnfilm und Optoelektronik mit präzisem Ätzen handhaben. TOKYO ELECTRON Trias ist mit seinem niedrigen Stromverbrauch, der Hochgeschwindigkeitsätzung und den hochwertigen Endprodukten ideal für Halbleiter-, Seh- und Industrieanwendungen. Trias hält strenge Standards für Gleichmäßigkeit, Chemie und Oberflächenmorphologie aufrecht und ermöglicht so einen saubereren Ätzprozess, um qualitativ hochwertigste Ergebnisse zu erzielen. Die einfach zu bedienende Steuerung, kombiniert mit einer robusten Hardwareplattform, macht es zu einem der besten verfügbaren Ätzer, der durch seine konsistenten, qualitativ hochwertigen Prozessergebnisse weiter verstärkt wird.
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