Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862 zu verkaufen

ID: 9355862
Wafergröße: 12"
System, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Durchführung eines Ätz- oder Ascheprozesses verwendet wird. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die konsistente, hochwertige und leistungsstarke Oberflächenbearbeitung von Wafern bietet. Es ist ein sehr vielseitiges und zuverlässiges System, das für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen eingesetzt werden kann. Das Gerät basiert auf einem dreistufigen Designkonzept TEL Trias - das drei verschiedene Arten von Ätz-/Ascheprozessen bietet: Plasma-Based Etching, LPCVD Etching und Cluster Etching. Das patentierte TOKYO ELECTRON Trias Design reduziert die Dauer jedes Ätz-/Ascheprozesses und kann, da es ein dreistufiges Design verwendet, die Anzahl der verschiedenen Ätz-/Aschwerkzeuge, die für einen bestimmten Prozess erforderlich sind, deutlich reduzieren. Die Plasma-basierte Ätzstufe bietet einen Hochleistungsprozess für Ätzprozesse, der eine enge Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Ätzergebnisse ermöglicht. Die LPCVD-Ätzstufe basiert auf thermisch induzierten Methoden und bietet eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Die Clusterätzstufe bietet eine wirklich einzigartige und effektive Methode zur Bereitstellung eines zuverlässigen Ätz-/Ascheprozesses. Sein patentiertes Design verwendet mehrere Gasphasen-Ätz-/Ascheprozesse, um ein gleichmäßiges, präzises Ätzen und Aschen verschiedener Substrate zu ermöglichen. Trias Maschine ist ein idealer Ätzer/Ascher für fortgeschrittene und anspruchsvolle Anwendungen. Es bietet überlegene Leistung, zuverlässige Wiederholbarkeit und einheitliche Ergebnisse. Darüber hinaus kann es für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, von flacher Grabenisolierung (STI) bis zur Oberflächenplanarisierung für Speichergeräte. Es ist ein zuverlässiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher für jedes Ätz- oder Aschebedürfnis.
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