Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357255 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine Oberflächenbearbeitungsmaschine vom Typ Etch/Ashers, die für den Einsatz in einer Vielzahl von werkstoffverarbeitenden Industrien entwickelt wurde. TEL Trias-Maschinen sind speziell für das Ätzen und Aschen von Halbleitersubstraten konzipiert. Sie sind speziell entwickelt, um konsistente Verarbeitungsergebnisse zu liefern, die den Anforderungen verschiedener Kundenanwendungen entsprechen, einschließlich Feinabstandskreislauf Ätz-/Asche, Ultra-Barriere Ätz-/Asche, Kontakt Metall Ätz-/Asche und Graben Ätz-/Asche, unter anderem. Die TOKYO ELECTRON Trias Serie ist für den Einsatz sowohl mit Ar als auch mit CF4 Gasversorgungssystemen konzipiert, sodass Anwender die Ergebnisse an ihre spezifischen Anwendungsanforderungen anpassen können. Es verfügt über ein modulares Design, mit dem Benutzer die Gerätekomponenten leicht aktualisieren oder anpassen können, um die Kapazität und Funktionen zu erhöhen. Darüber hinaus kann das System so konfiguriert werden, dass es entweder manuell oder automatisch bearbeitet wird. Herzstück von Trias ist eine hochfrequenzinduktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), die die präzisesten und kostengünstigsten Ätz- und Aschevorgänge gewährleisten soll. Die ICP-Quelle ist einstellbar, so dass Benutzer die Spannungs-, Strom- und Resonanzfrequenz je nach Substratmaterial und dem durchgeführten Ätz-/Aschevorgang einstellen können. Diese einstellbare ICP-Quelle ermöglicht eine präzisere Verarbeitung sowie eine gleichmäßigere großflächige Ätzung und Veraschung. TEL/TOKYO ELECTRON Trias-Einheit verwendet eine On-Board-Vakuum-Routing-Maschine, um hervorragende Durchsatzfähigkeit und einheitliches Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Dieses Vakuumleitwerkzeug sorgt auch für einen gleichmäßigen Gasfluss in die ICP-Quelle. Eine dynamische Temperaturregelung hilft auch, wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen und gleichzeitig den Gasverbrauch zu optimieren. Darüber hinaus wurde TEL Trias entwickelt, um ein effizientes thermisches Management zur Verfügung zu stellen, das zur Aufrechterhaltung der Oberflächentemperatur des Substrats beiträgt und eine präzise Kontrolle der Ätz- und Ascheprozesse gewährleistet. Die TOKYO ELECTRON Trias Serie umfasst auch eine Vielzahl hilfreicher Funktionen wie Wafer-Transfer, einen Wafer-individuellen Kühlkanal, Prozessüberwachungssysteme und Fernüberwachungsfunktionen. Auf diese Weise können Benutzer die Verarbeitungsbedingungen in Echtzeit anzeigen und überwachen, um konsistente Ergebnisse und begrenzte Ausfallzeiten zu gewährleisten. Insgesamt ist die Trias-Serie von Ätz-/Aschermaschinen eine ideale Wahl für eine Vielzahl von werkstoffverarbeitenden Industrien. Die einstellbare ICP-Quelle, das On-Board-Vakuum-Routingmodell und die dynamische Temperaturregelung sorgen dafür, dass Benutzer präzise und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse erhalten, die ihren Anwendungsanforderungen entsprechen. Mit seinen vielseitigen Eigenschaften ist die TEL/TOKYO ELECTRON Trias Serie eine ausgezeichnete Wahl für Ätz-/Ascheoperationen.