Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378307 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9378307
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
CVD System, 12" 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für den Einsatz in modernen Halbleiterherstellungsprozessen. TEL Trias-Serienätzer sind für hohen Durchsatz und Zuverlässigkeit konzipiert und verwenden eine Vielzahl fortschrittlicher Techniken, um sicherzustellen, dass jeder Schritt des Ätzprozesses genau und schnell abgeschlossen ist. So ist TOKYO ELECTRON Trias zu einer beliebten Wahl für Halbleiterherstellungsprozesse wie 3D-IC-Verpackung und MEMS-Herstellung geworden. Trias-Serie verwendet eine geschlossene Schleife Ausrüstung, um den gesamten Ätzprozess zu steuern. Dieses geschlossene Schleifensystem nutzt eine dreiachsige Gasdusche, um ein gleichmäßiges Ätzen über das gesamte Substrat zu erreichen. Ein PID (Proportional-Integral-Derivate) -Regler wird dann verwendet, um sicherzustellen, dass während des gesamten Ätzprozesses genaue Substrattemperaturen eingehalten werden. Diese geschlossene Regeleinheit wird durch die automatisierte Wellensteuerungsmaschine TEL/TOKYO ELECTRON Trias weiter ergänzt, die das Ätzen mehrerer Substrate auf einmal mit gleichmäßigen Ätzergebnissen ermöglicht. Die TEL Trias-Serie zeichnet sich auch durch ihre Mikrowellenspulen mit variabler Frequenz und den fortschrittlichen Plasmagenerator aus. Mit diesen Komponenten wird ein gleichmäßiges Plasma aller gewünschten Ätzgase erzeugt. Damit können TOKYO ELECTRON Trias einstufige Ätzprozesse durchführen, bei denen mehrere Ätzschritte mit variablen Gasen auf einmal abgeschlossen werden. Trias verfügt zudem über ein integriertes Gaspanel, mit dem Anwender schnell und einfach Ätzgase wechseln können, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Dies bedeutet, dass Benutzer leicht zwischen Ätzgasen wechseln können, während der Ätzprozess stabil und kontinuierlich bleibt. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Gaspanel auch die ggf. Feinabstimmung des Ätzprozesses, um komplexere Ergebnisse zu erzielen. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ätzer auch OSHA-konform, was für diejenigen wichtig ist, die sicherstellen möchten, dass ihr Halbleiterherstellungsprozess den Sicherheits- und Rechtsstandards entspricht. Als solches ist TEL Trias ein ideales Werkzeug für diejenigen, die schnell und zuverlässig komplexe und präzise Ätzergebnisse erzielen möchten.
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