Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine Mehrzwecklösung für Ätz- und Ascheprozesse. Das Gerät ist in der Lage, verschiedene Substrate mit einer Vielzahl von Anwendungen wie mikroelektronische Bauelemente, Halbleiterbauelemente, MEMS-Bauelemente und andere Materialien zu ätzen, zu aschen und zu reinigen. Das System beinhaltet ein vollautomatisches, modulares Einheitenkonzept, einschließlich Tauchaktion und Steuermodus. Tauchwirkung erleichtert Dünnschichtätzen und verhindert, dass die Abscheidung die obere Grenze überschreitet, was eine hochpräzise Ätztechnik ohne manuelle Anpassung ermöglicht. Der Regelmodus ermöglicht ein präzises Ätzen und Aschen mit angepasster Temperaturregelung zur Erzielung gewünschter Prozesse. Die Maschine verfügt auch über eine unabhängige Prozesssteuerung mit einer Reihe von Parametern wie obere und untere Temperatureinstellung, Belichtungszeit und Belichtungsleistung. Diese Parameter können je nach gewünschtem Ergebnis und Substrat individuell oder global eingestellt werden. Dies sorgt für individuellen Komfort und Sicherheit bei gleichzeitiger Präzision und Zuverlässigkeit. Darüber hinaus verfügt TEL Trias über erweiterte Anzeige- und Datenverarbeitungsfunktionen, einschließlich Rezeptbearbeitungsfunktionen, Überwachung und Messung der Wärmehistorie und Diagnosefunktionen. Das Werkzeug verwendet ein spezielles zweischichtiges Quarzrohr, um eine allmähliche Erwärmung und damit eine verbesserte Ätzgenauigkeit zu gewährleisten. Es enthält auch eine Linearmotorantriebssteuerung, die präzise und wiederholbare Schritte ermöglicht, sowie eine einzigartige Lichtquelle mit einer Hochhalogenidlampe zur genauen Steuerung der Ätzleistung und gleichmäßiger Belichtung. TOKYO ELECTRON Trias bietet auch Prozessverträglichkeit mit vielen handelsüblichen Ätzmitteln, wie HF-basierten Säuren, Strippern und Thiolen. Während des Prozesses können importiertes Gas und Abgas auf sicheren Betrieb überwacht werden. Und für die Stromversorgung verwendet das Modell eine programmierbare Gleichstrom- und Konstantstromquelle, die eine genaue Steuerung von Strom und Spannung beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Schließlich ist Trias für einfache Wartung und Bedienung konzipiert. Es verfügt über erweiterte Sicherheitsmerkmale und entspricht den Sicherheitsstandards. Der modulare Aufbau und die kostengünstige Installation machen es zu einer idealen Wahl für Labor- und Industrieanwendungen.