Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9399572 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9399572
Weinlese: 2012
CVD System 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die vom führenden Hersteller von Prozessausrüstungen, TEL. Dieses High-End-System wurde für eine breite Palette von industriellen Ätz-/Ascheranwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen und Flachbildschirmen entwickelt. TEL Trias verfügt über eine erweiterte Ätz-/Aschekammer und Prozesskammer, um den Benutzern präzise Ätz-/Ascheoperationen zu ermöglichen und ihnen die Kontrolle der Ätz-/Ascheanwendung mit unschlagbarer Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Das Gerät ist mit einer integrierten Vakuummaschine und einer Reihe computergesteuerter Hardware und Software ausgestattet, die den Ätz-/Aschefortschritt überwacht. Das Tool umfasst auch die automatisierte Rezepteingabe und die Einhaltung einer Vielzahl internationaler Sicherheitsvorschriften. Die einzigartige Hybrid-Pulsplasma-Anlage, bestehend aus Transformer Modulated Plasma (TMP) Technology und Standard Plasma (SP) Technology, ermöglicht TOKYO ELECTRON Trias, präzise gesteuertes Plasma für konstant hohe Ätz-/Ascheergebnisse zu emittieren. Das Modell erzeugt eine höhere Ätzrate, Genauigkeit und Konsistenz, was zu höheren Erträgen und niedrigeren Ausschüssen im Vergleich zu anderen Ätz-/Aschesystemen führt. Darüber hinaus bietet Trias eine Temperaturregelung innerhalb der Ätz-/Ascheprozesskammer mit einem weiten Temperaturbereich zwischen -50 ° C und 450 ° C. So können Anwender die Parameter während des Ätz-/Ascheprozesses schnell und effizient überwachen. Darüber hinaus ist dieses Gerät voll kompatibel mit TOKYO ELECTRON 'AutoSampler' Wafer Chuck und seiner umfassenden „User-Interface“ Software, so dass Benutzer den Ätz-/Ascheprozess von einem zentralen Ort aus steuern können. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias mit einem hohen Maß an Sicherheit und Umweltschutz, wie ein leistungsfähiger Lüfter für die Gewinnung von Gefahrstoffen und die Fähigkeit, die Prozessumgebung auf potenziell gefährliche Stoffe zu überwachen, konzipiert. Das System verfügt zudem über ein interaktives Unterrichtsmenü, mit dem Anwender die Einrichtung der Maschine schnell konfigurieren und sich einen Überblick über die Reproduzierbarkeit ihres Prozesses verschaffen können. Insgesamt bietet TEL Trias eine fortschrittliche Ätz-/Ashing-Lösung für Anwender, die maximale Leistung und Zuverlässigkeit bei ihren Ätz-/Ashing-Vorgängen suchen. Diese Einheit ist ideal für Halbleiter- und Flachbildschirmhersteller, die höchste Genauigkeit und Konsistenz ihres Ätz-/Ascheprozesses verlangen.
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