Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher ist ein Hochdurchsatz-Plasmaätzwerkzeug zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien. Der Ätzer/Ascher ist mit einem 50mm SiH3 Sekundärsubstrat und einem 15mm Quarzscheibenträger ausgestattet. Das Plasmaätzwerkzeug TEL TSP-207H bietet mit seiner Hochleistungs-, Hochspannungs- und hochzuverlässigen ECR-Plasmaquelle eine optimale Ätzleistung. Mit dem abnehmbaren Magnetron- und Hochfrequenzgenerator bietet dieses Gerät hervorragende Ätzgleichmäßigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. TOKYO ELECTRON TSP-207H kann einfach mit seinem Kassettenlader/Entlader be- und entladen werden. Die ECR-Plasmaquelle von TSP-207H Plasma Asher erzeugt eine breite Palette von Plasmaspezies mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Seine Substrattemperatur kann dank seines fortschrittlichen Temperaturregelungssystems genau in den Abscheide- und Ätzprozess integriert werden. Der Ascher/Ätzer ist außerdem mit Prozessüberwachungsfunktion zur vollständigen Kontrolle des Plasmaprozesses ausgestattet. Die Querschnittsbeobachtung von geätzten Mustern und geätzten Oberflächen ist mit einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) möglich. Der fortschrittliche Controller ist in der Lage, verschiedene Ätzprozesse wie Ätztiefensteuerung, Zeit und Temperatur usw. durchzuführen. Darüber hinaus ist es mit einer einzigartigen, benutzerfreundlichen Grafik-Benutzeroberfläche (GUI) für einen optimalen Prozessbetrieb ausgestattet. Darüber hinaus kommt TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher auch mit Fernüberwachungs- und Steuerungstechnik für Fernbedienung, Steuerung und Wartung. TEL TSP-207H Plasma Asher ist eine robuste Einheit, die für hohen Durchsatz und zuverlässige Ergebnisse optimiert ist. Es wurde entworfen, um eine Vielzahl von Ätz- und Aschebedingungen zu behandeln, um eine breite Palette von Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen, so dass es eine ideale Wahl für Ätz- und Ascheoperationen ist. die Maschine bietet hervorragende Präzision und Wiederholbarkeit, während ihre benutzerfreundliche Oberfläche eine einfache Bedienung gewährleistet.