Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355302 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304 Ätzer/Ascher ist ein hochentwickeltes Halbleiterverarbeitungsinstrument zur Durchführung von Trockenätzoperationen. Unter Verwendung plasmabasierter Technologie ist dieser Ascher in der Lage, verschiedene Materialien mit ultrahoher Präzision und Genauigkeit abzuscheiden und zu ätzen. Es verfügt über einen Mehrkammeraufbau mit fünf Hauptkammern, von denen jede einen eigenen spezifischen Zweck im Ätzprozess hat. Dazu gehören Hauptkammer, Zuleitungskammer, Reaktionskammer, Hochfrequenzkammer und Nachaschekammer. Die Hauptkammer beherbergt den Probenhalter und wird in einer sorgfältig kontrollierten Atmosphäre gehalten, um einheitliche und konsistente Ätzergebnisse von Wafer zu Wafer zu gewährleisten. Diese Kammer ist mit der Zuleitungskammer verbunden, die für die Einleitung von Ätzmittel und Substrat in die Hauptkammer zuständig ist. Die Reaktionskammer ist dort, wo das Plasma vorhanden ist, und ist sowohl mit einem magnetischen als auch mit einem elektrischen Feld ausgestattet, um die Plasmadichte zu steuern. Dieses Feld ermöglicht es dem Bediener, die Ätzrate und Ätzselektivität auf ein bestimmtes Material einzustellen. Die HF-Kammer ist elektrisch von den anderen Kammern isoliert und dient als Hochleistungsquelle zur Herstellung des Plasmas. Diese HF-Kammer kann auch für sequentielle Ätzvorgänge verwendet werden, wodurch feine Muster mit ausgezeichneter Eckabrundung hergestellt werden können. Schließlich ist die nachgeätzte Kammer dort, wo die Wafer behandelt werden, um sicherzustellen, dass sie frei von korrosiven Verhaltensweisen sind. Um seine Leistung weiter zu verbessern, ist TEL TSP-304 mit einer Vielzahl von Sicherheits- und Diagnosefunktionen ausgestattet. Es kommt auch mit einer umfassenden grafischen Benutzeroberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, den Ätzprozess einfach zu überwachen und zu steuern. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON TSP-304 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der hochpräzise und liniendefinierte Merkmale mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit herstellen kann.