Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293809043 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS ist ein Ätzer/Ascher mit erweiterten Funktionen, die verwendet werden, um qualitativ hochwertige Bilder und Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erstellen. Es verwendet eine Kombination aus Trockenätzen und Nassverarbeitung, um komplexe Ätzungen auf verschiedenen Materialien wie Silizium, Quarz und Metallen herzustellen. Das Gerät verfügt über fünf Werkzeugkammern mit unterschiedlichen Eigenschaften und verwendet ein RIE (Reactive-Ion Etching) -Verfahren, bei dem Plasmabionen chemisch mit den Materialoberflächen reagieren, um eine vorbestimmte Schicht zu entfernen. TEL TSP-30555SSS hat aufgrund seiner RIE-Prozesskonfiguration ein sehr einheitliches Ätzprofil. Die Gasverteilung kann leicht modifiziert werden, um eine Reihe von Ätzprofilen wie isotrope, anisotrope, tiefe Penetration und flache Ätzung zu erzeugen. Die Gasflußsteuerung besteht aus einem Durchflußventil, Massenstromreglern, einem automatisierten Ventilsteller und einem elektro-thermischen Spannungsregler. Die Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung sowohl des Druck- als auch des Gasstroms, um die gewünschten Ätzprofile zu erreichen. Diese Maschine ist in der Lage, Tiefen von 0,2 bis 22,1 μ m zu ätzen. Darüber hinaus können TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS auch zur Nassverarbeitung verwendet werden. Es verfügt über ein in-situ, Hochdruck-Nassreinigungswerkzeug, das in der Lage ist, sehr präzise und qualitativ hochwertige Bilder zu machen. Die Anlage verfügt über Druck, Temperatur, Zeit und Lösungsmittelkontrolle, um den Reinigungsprozess zu optimieren. Dadurch können Ätzprofile je nach Anwendung optimal abgestimmt werden. TSP-30555SSS hat auch verbesserte Sicherheitsmerkmale. Es ist mit einem automatisierten Sicherheitsmodell ausgestattet, das die Ausrüstung stoppt, wenn eine Anomalie bei der Ätz- oder Nassverarbeitung festgestellt wird. Es verfügt zudem über einen integrierten Wasserdurchflussmesser, der sicherstellt, dass der Reinigungsprozess reibungslos und innerhalb der Sicherheitsrichtlinien abläuft. Das System verfügt auch über eine fortschrittliche Entlüftungseinheit, um schädliche Dämpfe und Partikel zu reduzieren, die während des Ätzens und der Nassverarbeitung freigesetzt werden. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um eine hohe Präzision mit einer Vielzahl von Materialsubstraten zu erreichen. Es verfügt über die Fähigkeit, mit seinem RIE-Verfahren und der präzisen Nassverarbeitung hochwertige Muster und Bilder zu produzieren. Die Maschine verfügt außerdem über verbesserte Sicherheitsmerkmale, um eine sichere Ätzumgebung zu gewährleisten.