Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #9352959 zu verkaufen
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ID: 9352959
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12"
Model: SCCM Shin
Main frame
(3) Chambers
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS ist ein Ätzer/Ascher, der Benutzern schnelle und effiziente Wafer-Musterfunktionen bietet. Es handelt sich um ein einzelnes Wafersystem mit einem erheblichen Bearbeitungsbereich, der es ermöglicht, große Wafersubstrate wie 2-Zoll, 4-Zoll und 6-Zoll-Wafer aufzunehmen. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einer RIE (Reactive Ion Etch) Bearbeitungskammer ausgestattet, die in der Lage ist, ein hochpräzises Ätzen verschiedener Materialien auf der Oberfläche des Wafersubstrats durchzuführen. Seine Fähigkeit, Trockenätzen mit hoher Präzision und einem breiten Spektrum von Prozessbedingungen durchzuführen, macht es zur Herstellung feiner Merkmale auf Wafern geeignet. TEL TSP-30555SSS verfügt über einen automatisierten Prozesscontroller, mit dem Benutzer mehrere Prozessoptionen für den Prozesszyklus voreinstellen können. Es verfügt außerdem über eine Schnittstelle zur Steuerung der Bedingungen der Kammer beim Ätzen und ein Diagnosesystem, das eine visuelle Überwachung von Druck, Temperatur und Prozesszustand ermöglicht. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS mit einer Reihe weiterer Funktionen ausgestattet, um seine Leistung zu verbessern. Dazu gehören eine fortschrittliche Auto-Tune-Anlage, eine Multi-Chamber/Multi-Stack-Anlage und ein automatisiertes Heiz-/Kühlsystem, das die Substrattemperatur steuert, um die Ätzergebnisse zu optimieren. Darüber hinaus ist es mit extra großen Enduriden, OFE-Pumpen und Hochvakuum (HV) -Komponenten ausgestattet, die alle auf hohe Präzision und Zuverlässigkeit während des gesamten Prozesses ausgelegt sind. TSP-30555SSS ist auch sehr kompatibel mit einer Vielzahl von Ätzprozessen, wie Plasma, Ionenstrahlätzen und Sputterätzen. Es ist auch in der Lage, sowohl ein- als auch mehrstufige Prozesse durchzuführen. Es hat eine sehr kurze Zykluszeit und kann die Produktion von bis zu sechs Wafern pro Zyklus bewältigen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS ein ausgezeichneter Ätzer/Ascher, der dem Anwender hochpräzise Ergebnisse bei schnellem und effizientem Betrieb bietet. Die robuste Konstruktion, die automatisierte Prozesssteuerung und zahlreiche Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für das Ätzen einer breiten Palette von Materialien für den Einsatz in der Halbleiter- und anderen verwandten Branchen.
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