Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252304 zu verkaufen

ID: 9252304
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Dielectric etcher, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD ist eine voll ausgestattete Trockenätzlösung für großtechnische Anwendungen. Dieser Ascher verwendet ein ausgeklügeltes Teilsystem für die Plasmaquelle und die fortschrittliche Gaszufuhr, um eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Polyimid, Metalllegierungen und Polymere schnell und genau zu ätzen. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 "verarbeiten und ermöglicht eine effiziente Herstellung komplexer elektronischer Komponenten. TEL TSP-3055DD verfügt über einen fortschrittlichen Controller, der die Konfiguration von Prozessparametern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Es verfügt über hocheffiziente HF-Generatoren und eine frequenzagile Leistungsregelung, die eine maximale Plasmagleichförmigkeit gewährleistet. Das computergesteuerte Gasfördersystem ermöglicht eine präzise Abgabe von Ätzgasen auf das Substrat, was eine hohe Ausbeute ermöglicht. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON TSP-3055DD groß und nimmt minimalen Raum ein. Es besteht aus robusten Materialien, die seine Haltbarkeit gewährleisten, und ist in der Lage, kontinuierlichen Betrieb ohne die Notwendigkeit einer häufigen Wartung. Es sind mehrere Prozessmonitorsysteme enthalten, die eine intuitive, echtzeitgesteuerte und benutzerfreundliche Datenerfassung ermöglichen. TSP-3055DD wurde entwickelt, um Anwendern höchste Präzision bei der Ätz- und Ätztiefenkontrolle zu bieten. Leistungsstarke Plasmaquellen und automatisierte Prozessregler beseitigen unerwünschte Variabilitätsquellen und liefern höchste Qualität von geätzten Produkten. Dieser Ascher garantiert den Kunden höchste Produktivität, Wirtschaftlichkeit und Präzision.
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