Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252309 zu verkaufen

ID: 9252309
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Dielectric etcher, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD ist ein fortschrittlicher Ätzer oder Ascher, der in der Lage ist, hochpräzise Substrate für Halbleiterprozesse zu liefern. Es ist ein einzelnes Waferbearbeitungswerkzeug aus TEL und ist für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterprodukten wie Prozessoren, Speicher und anderen integrierten Schaltungen konzipiert. TEL TSP-3055DD wurde entwickelt, um ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit zu bieten, wodurch es für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet ist. Im Zentrum von TOKYO ELECTRON TSP-3055DD steht ein Ätzkopf, der hochpräzise ist und für seine Funktionen eine hohe Gleichmäßigkeit erreichen kann. Der Ätzer ist mit Diffusionsstromregeltechnologie ausgestattet und liefert Stickstoff-Wasserstoff-Gasdurchflüsse von bis zu 20 Millilitern pro Minute. Seine Elektrodenplatten sind fein abgestimmt und fein geformt, um eine optimale Ätzrate zu erreichen. Dies ermöglicht hohe Durchsätze von bis zu 60 Wafern pro Stunde, was die Hochgeschwindigkeitsproduktion von Halbleiterteilen ermöglicht. Der Ätzkopf ist zudem mit einem APS-3000 Positioniersystem ausgestattet, das eine präzise Werkzeugausrichtung und hohe Überlagerungsgenauigkeit gewährleistet. TSP-3055DD ist auch mit einem Prozessleitsystem ausgestattet, das zur genauen Lieferung von Substratprozessen integriert ist. Prozessparameter wie Ätzzeit und Gasdurchfluss werden automatisch auf Basis der Art des zu verarbeitenden Substrats angepasst, wodurch die Herstellung von hochpräzisen Teilen gewährleistet wird. Das System ermöglicht auch den Einsatz einer breiten Palette von Ätzmitteln, wodurch die Vielseitigkeit des Werkzeugs erhöht wird. TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD kommt auch mit einem erweiterten Kommunikationsmodul, das Fernüberwachung und Steuerung des Ätzers ermöglicht. Dazu gehört auch die Fernüberwachung von Prozessparametern, was den Bedarf an Wartungspersonal reduziert. Darüber hinaus kann das Kommunikationsmodul zur Abstimmung des Ätzrezepts auf ein bestimmtes Substrat verwendet werden, um die Verarbeitungszeiten zu optimieren und die Verschwendung zu minimieren. Abschließend ist TEL TSP-3055DD ein hochpräziser, schneller und vielseitiger Ätzer oder Ascher, der den Anforderungen der modernen Halbleiterproduktionsindustrie gerecht wird. Seine Eigenschaften, wie Diffusionsflussregelungstechnologie, feinabgestufte Elektroden und fortschrittliche Steuerungssysteme, machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von hochpräzisen, volumenreichen Substraten. Dank seiner Automatisierungsfunktionen und Fernüberwachung ist das Tool eine gute Wahl für Produktionseinstellungen, was die Produktivität erhöht und gleichzeitig den Wartungsaufwand reduziert.
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