Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252310 zu verkaufen

ID: 9252310
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Dielectric etcher, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD ist eine Hochleistungs-Trockenätzausrüstung, die für überlegene und zuverlässige Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Das System kann dicke und dünne Filme bei hohen Dichten mit hoher Wiederholbarkeit durchätzen, was zu überlegener Wiederholbarkeit und Qualität führt, was es ideal für die Mittel- und Großserienproduktion macht. Das Gerät verwendet ein proprietäres scheibenförmiges elektrostatisches Spannfutter, um das Substrat während der Verarbeitung sicher zu halten. Hierdurch wird eine ausreichende Grenzfläche zwischen dem Substrat und dem Ätzkopf gewährleistet, die zur Minimierung von Bearbeitungsfehlern beiträgt. Der Ätzkopf ist aus Edelstahl mit einer PTFE-Beschichtung gefertigt, um eine erhöhte Abriebfestigkeit zu gewährleisten. Es enthält eine Vielzahl von Merkmalen, die eine höhere Wiederholbarkeit und verbesserte Qualität beim Ätzen fördern, wie eine vollständig einstellbare Düse, Energiesteuerung, Laser mit variabler Leistung und eine Überdruckkammer. Alle diese Merkmale helfen, mögliche Verunreinigungen auf dem Substrat zu reduzieren, was zu einem verbesserten Ätzergebnis beiträgt. TEL TSP-3055DD Maschine hat eine beeindruckende Belastung von 1000 Wafern/h und eignet sich somit je nach Bedarf für die Großserienproduktion. Darüber hinaus kompensiert die automatische Niveauregulierung etwaige Unregelmäßigkeiten im Substrat, was zu einem gleichmäßigen Ätzvorgang führt. Das Werkzeug bietet auch eine Lasermarkierung, die eine Vielzahl von Logos oder Zeichen auf das Ätzsubstrat aufbringen kann. Dies ist eine einfach zu bedienende und anpassbare Funktion, mit der einzelne geätzte Elemente angepasst werden können. Darüber hinaus können Qualitätskontrolleure auf Echtzeitdaten zugreifen, um Qualitätskontrollen durchführen und Ergebnisse für einen optimalen Ätzprozess auswerten zu können. TOKYO ELECTRON TSP-3055DD ist eine zuverlässige Ätzmaschine, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist und Qualitätsergebnisse mit wiederholbarer Leistung und Effizienz liefert.
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