Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON U2e-855II #9363962 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II ist eine hochmoderne Ätzausrüstung, die in der Mikroelektronikindustrie eingesetzt wird. Dieses Ätzsystem kombiniert ein plasmaverbessertes Trockenätzverfahren mit einem CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition). Diese Einheit bietet überlegene Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und niedrige Fehlerraten für das Ätzen von harten und weichen Materialien. TEL U2e-855II bietet hohe Auflösung und hohe Geschwindigkeit zum Ätzen von Durchgangslöchern, Gräben und Mustern. Der Ätzprozeß wird durch Ionisierung des Gasgemisches und anschließende Regelung der Temperatur und Energie mit magnetisch induzierten, angelegten elektrischen Feldern durchgeführt. Durch diese Mikrowellen bildet sich ein Plasma, wodurch eine für das Ätzen geeignete Niederdruckumgebung mit niedriger Temperatur entsteht. Die Wärme wird extern bereitgestellt, um sicherzustellen, dass während des gesamten Ätzprozesses ausreichend Energie zur Verfügung steht. TOKYO ELECTRON U2e-855II verfügt über ein Bedienfeld, in dem Benutzer den Kammerdruck, die Arbeitsgaszusammensetzung, die Pulsrate, den Plasmaleistungspegel und die Ionenenergie überwachen und einstellen können. Eine integrierte PC-basierte Benutzeroberfläche ermöglicht auch die Steuerung und Überwachung während des Ätzprozesses. Die Maschine verfügt über ein bequemes Einbauwerkzeug, das den Wafer während des Ätzvorgangs stetig durch die Maschine bewegt. Darüber hinaus verfügt U2e-855II über eine HAR-Kanalätztechnologie (High Aspect Ratio), die es dem Anwender ermöglicht, tiefe, komplexe Muster in harten Materialien wie Siliziumscheiben, Quarzkristallen und keramischen Substraten zu ätzen. Die HAR-Technologie ist auch vorteilhaft für die Herstellung von hohen dreidimensionalen Profilen mit minimalen Oberflächenschäden. Das Asset bietet eine ausgezeichnete Auswahl an Funktionen für eine Vielzahl von Anwendungen. So eignet sich TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II ideal zum Kontaktätzen, über Lochätzen, zum Ätzen des hohen Seitenverhältnisses und zum Erzeugen tiefer und komplexer Muster. Es ist auch in der Lage, mehrere Substrate zu verarbeiten, und ist kompatibel mit allen Arten von Photomasken in der Mikroelektronik-Industrie verwendet. Insgesamt ist TEL U2e-855II ein fortschrittliches Ätzmodell, das für eine Vielzahl von mikroelektronischen Anwendungen geeignet ist. Es bietet überlegene Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und niedrige Fehlerquoten und bietet Anwendern anspruchsvolle Steuerungs- und Überwachungsfunktionen. Die Ausrüstung ist für eine Vielzahl von Ätzanwendungen geeignet und kann mit hartem und weichem Material problemlos umgehen.