Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW ist eine Ätz-/Ascheprozessanlage, die für eine hohe Durchsatzleistung in einer Vielzahl von Prozessschritten entwickelt wurde. Es hat eine große aktive Fläche von 855 Quadratmillimetern und ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten wie Silizium, Silizium und Glas zu handhaben. Das System verfügt über eine integrierte Prozesskammer und wird von einem frequenzgesteuerten HF-Generator mit bis zu 2000 Watt Leistung gespeist. Das Gerät verfügt auch über eine Präzisionsprozesssteuerungssoftware, die vollständig programmierbare Prozessbedingungen wie Ätzrate, Profilsteuerung, Temperaturregelung und mehr ermöglicht. TEL U2E-855SS-SW ist eine vollautomatische Maschine mit kleinem Lastschloss. Es verfügt außerdem über ein robustes Sicherheitswerkzeug, das alle Sicherheitsmaßnahmen unter beliebigen Prozessbedingungen gewährleistet. Das Asset ist nominell mit bis zu 200 Wafern pro Stunde ausgestattet und verfügt über einen 8x10 "-Montagepuck, der eine schnelle Beladung vieler verschiedener Substratgrößen ermöglicht. Um die Temperaturstabilität des Substrats zu gewährleisten, verfügt das Modell über ein integriertes Mikropumpenmodul, das für konsistentere Ergebnisse sorgen kann. Das robuste Softwarepaket verfügt auch über einen erweiterten Sequenzmanager, der die Erstellung von Rezepten und die Einstellung von Prozessparametern vereinfacht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen integrierten Controller für die Datenerfassung, Rezepte und Protokolle, der das gesamte System von Anfang bis Ende steuert. Schließlich verfügt das Gerät über eine Ferndiagnose und -wartung, die eine schnelle und einfache Fehlerbehebung ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW eine beeindruckende Ätz-/Aschemaschine, die eine hohe Leistung und Präzisionssteuerung bietet. Es ist für eine Vielzahl von Prozessschritten konzipiert und ist eine gute Wahl für Hersteller, die nach einer effizienten und zuverlässigen Ätz-/Aschelösung suchen.