Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM #9162835 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM ist ein Allzweckätzer für Trockenätzanwendungen aller Sorten. Es verfügt über ein einzigartiges Direct Resistance Heating (DRH) System, das Niederspannungs-Hochstrombetrieb mit präziser Prozesssteuerung ermöglicht. Dieser Ätzer hat einen breiten Prozessbereich mit einem Ablagerungstiefenbereich von 25nm-6um und Ätztiefen von 10-200um. Es ist in der Lage, sowohl Reactive Ion Etching (RIE) und Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Techniken. TEL Unity 2 DRM verfügt über integrierte Automatisierungsfunktionen, die eine präzise Steuerung des Prozesses ermöglichen. Dazu gehören ein computergesteuertes System zur Waferaufbereitung und -handhabung sowie ein automatisierter HF-Generator, der auf Basis der Prozessparameter genau die richtige Leistung und Spannung liefert. Die integrierte automatische Kalibrierung sorgt für eine konsistente Prozesswiederholbarkeit. Diese Funktionen können nicht nur Zeit sparen, sondern auch das Risiko menschlicher Fehler bei der Steuerung des Prozesses erheblich reduzieren. Der Ätzer verfügt zudem über eine eingebaute modulare Prozesskammer, die bis zu vier Prozessgase mit Platte und elektrischem Antriebsdeckel und bis zu vier Anodenkassetten unterstützt. Die Kammer verfügt auch über eine patentierte, kontrollierte Ionen-Energiequelle (CIE), die hilft, niedrige Druckverhältnisse in der Prozesskammer aufrechtzuerhalten und die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ätzung weiter sicherzustellen. Der Ätzer ist sehr zuverlässig und effizient und kann die komplexesten Ätzungen mit hoher Wiederholbarkeit und Ausbeute liefern. Es genießt eine gute thermische Stabilität, eine geringe Kreuzkontamination, und sein ergonomisches Design macht es einfach zu bedienen. Kurz gesagt, TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM ist ein sehr vielseitiges, funktionelles und zuverlässiges Ätzgerät, das sich für eine Vielzahl von Trockenätzanwendungen eignet. Es verfügt über automatisierte Funktionen, um Präzision und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, und seine zweistufige Prozesskammer bietet Flexibilität und Zuverlässigkeit. Es ist das ideale Werkzeug für jeden Trockenätzauftrag, ob Präzisionsätzen komplexer Muster oder Standard-Anwendungsätzen.