Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293775058 zu verkaufen
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ID: 293775058
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8"
YASKAWA Robot
Process: Oxide
CIM: GEM
Handler
Chiller
(2) LPT
(4) Dry pumps
AC and RF Rack
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD ist eine hochentwickelte Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Dieses System kombiniert modernste Technologie mit Präzisionstechnik, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten. TEL UNITY 2E 85 DD wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen und bietet eine hohe Prozessstabilität, Prozessflexibilität und ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit. Hauptmerkmale: TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD verfügt über eine einzigartige Dual-Frequency kapazitiv gekoppelte Plasma (CCP) -Quelle, die eine präzise Kontrolle der Plasmadichte und Ionenenergieverteilung ermöglicht. Dies führt zu einem sehr gleichmäßigen Ätzen und Aschen über die gesamte Substratoberfläche, wodurch hohe Prozessausbeuten und Geräteleistungen gewährleistet sind. Das Gerät ist mit erweiterten Endpunkterkennungsfunktionen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglichen. Dies gewährleistet eine präzise Kontrolle der Prozessparameter und minimiert Überätzungen, was zu einer höheren Prozesseffizienz und reduziertem Materialabfall führt. UNITY 2E 85 DD ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu handhaben, einschließlich Silizium, Verbundhalbleiter und Glassubstrate. Die Maschine bietet Optionen sowohl für Resist Stripping als auch für Descum Prozesse und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Das fortschrittliche Prozesskammerdesign und das Gasliefervermögen des Werkzeugs sorgen für hervorragende Prozesswiederholbarkeit und Einheitlichkeit. Die Kammer wurde entwickelt, um Partikelverunreinigungen zu minimieren und eine saubere Verarbeitungsumgebung zu gewährleisten, was zu hohen Geräteausbeuten und verbesserter Zuverlässigkeit führt. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD verfügt über ein benutzerfreundliches Schnittstellen- und Softwaresteuerungsmodell, das eine einfache Bedienung und Prozessüberwachung ermöglicht. Die Ausrüstung ist mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die eine Hochdurchsatzverarbeitung und einen geringeren Eingriff des Bedieners ermöglichen. Anwendungen: TEL UNITY 2E 85 DD eignet sich ideal für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen, einschließlich Ätzen und Aschen von dünnen Schichten, Mustertransfer, Resist Stripping und Descum-Prozesse. Das System wird häufig bei der Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente wie Logikbauelemente, Speicherbauelemente, MEMS-Bauelemente und Leistungsbauelemente verwendet. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD eine hochmoderne Ätz-/Ascher-Einheit mit unübertroffener Leistung, Zuverlässigkeit und Prozesskontrolle. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, seinem breiten Anwendungsspektrum und dem benutzerfreundlichen Design ist UNITY 2E 85 DD eine wertvolle Bereicherung für Halbleiterhersteller, die eine hochwertige Geräteherstellung erreichen und die Produktionseffizienz maximieren möchten.
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