Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293775061 zu verkaufen
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ID: 293775061
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8"
YASKAWA Robot
Process: Oxide
CIM: GEM
Handler
Chiller
(2) LPT
(4) Dry pumps
AC and RF Rack
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um hochpräzise Verarbeitungsfunktionen für Halbleiterherstellungsanwendungen bereitzustellen. Dieses System ist Teil der TEL Unity-Serie von Ätzgeräten, die in der Halbleiterindustrie für Muster- und Ätzprozesse weit verbreitet sind. TEL UNITY 2E 85 DD ist mit modernster Technologie und Funktionen ausgestattet, die es zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für eine präzise Materialabtragung und Plasmabearbeitung machen. Diese Einheit ist speziell für tiefe Siliziumätzprozesse konzipiert, bei denen hohe Seitenverhältnisstrukturen mit hoher Selektivität und Gleichmäßigkeit geätzt werden müssen. Eines der Hauptmerkmale von TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD ist seine Dual-Source-Konfiguration, die das gleichzeitige Ätzen mit zwei verschiedenen Gasen ermöglicht. Dadurch kann die Maschine ein breiteres Spektrum an Prozessfähigkeiten erreichen und die Ätzleistung für verschiedene Materialien und Prozessanforderungen optimieren. Das Werkzeug verfügt zudem über einen Hochleistungs-HF-Generator, der eine effiziente Plasmaerzeugung und gleichmäßige Bearbeitung über den Wafer gewährleistet. UNITY 2E 85 DD ist mit einer Ladeschloßkammer für schnelles Be- und Entladen von Wafern ausgestattet, die Prozessausfallzeiten minimiert und die Gesamtproduktivität verbessert. Das Asset verfügt zudem über ein fortschrittliches Wafer-Handling-Modell mit Roboterarm-Technologie, das eine präzise Positionierung und Handhabung von Wafern während der Verarbeitung gewährleistet. In Bezug auf Ätzfähigkeiten bietet TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD eine Reihe von Prozessgasen und Rezepturen, um verschiedenen Materialtypen und Prozessanforderungen gerecht zu werden. Die Ausrüstung ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätzchemikalien zu handhaben, einschließlich Chemikalien auf Fluorbasis, Chlor-Basis und Sauerstoff-Basis, um eine hohe Selektivität und Ätzraten für verschiedene Materialien zu erreichen. TEL UNITY 2E 85 DD ist auch mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen wie der Endpunkterkennungstechnologie und Echtzeit-Überwachungsfunktionen ausgestattet. Diese Eigenschaften ermöglichen es dem System, eine genaue Prozesskontrolle zu erzielen, die Ätzgleichmäßigkeit zu verbessern und konsistente Verarbeitungsergebnisse von Wafer zu Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einer intuitiven Software-Steuereinheit ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Wartung der Maschine ermöglicht. Das Tool enthält auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen und Gasminderungssysteme, um einen sicheren und umweltfreundlichen Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt ist UNITY 2E 85 DD ein leistungsfähiges Etcher/Asher-Asset, das erweiterte Verarbeitungsfunktionen, zuverlässige Leistung und Vielseitigkeit für eine breite Palette von Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Mit seinem innovativen Design und modernsten Features eignet sich dieses Modell gut für anspruchsvolle Ätzprozesse in der Halbleiterindustrie.
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