Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #9178057 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD ist ein fortschrittlicher Ätzer für dielektrische Schichten, einschließlich Rückätzen von Siliziumnitrid, Siliziumdioxid und Ätzstoppschichten. TEL UNITY 2E 85 DD kann verwendet werden, um Siliciumdioxid, Siliciumnitrid, amorphes Silicium und Nitridoxide zu ätzen. Dieser erweiterte Ätzer bietet auch die Möglichkeit, erweiterte Funktionen und Muster auf einer Vielzahl von Materialien zu erstellen. Das effiziente und zuverlässige Design von TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD sorgt für optimale Ätzgleichmäßigkeit und Präzision. Die Verwendung einer hochreaktiven, niedrigen Temperatur Argon/Chlor basierten Chemie bietet eine hervorragende Kontrolle der Ätzraten und Ätzanisotropie. Dank der Advanced Control Substrate Positioner (ACSP) Technologie bietet UNITY 2E 85 DD eine breite Palette von Substratgrößen und -formen, die präzise und präzise geätzt werden können. Darüber hinaus trägt das große Prozessfenster von TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD dazu bei, die Gleichgewichtszeit zu minimieren und zielgerichtete Ergebnisse sicherzustellen. TEL UNITY 2E 85 DD ist speziell für den Einsatz bei der Herstellung hochwertigster Verbundfeldbilder (IFFs) in Halbleiterverarbeitungsanwendungen konzipiert. IFFs bieten den zusätzlichen Vorteil einer genauen Strukturierung enger Funktionen, wodurch sie mit extremer Auflösung fokussiert werden können. Dies ist aufgrund der überlegenen Ätzfähigkeiten von TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD möglich, da es eine ausgezeichnete Selektivität der Ätzraten zwischen verschiedenen Materialien, einen schnellen Ätzdurchsatz und hochgleichmäßige Ätzergebnisse bietet. UNITY 2E 85 DD bietet auch überlegene Durchsilizium-Vias (TSV) -Ätzung, ideal zum Ätzen von schmalen Eigenschaften mit extrem hoher Dichte. Die minimierte Belastung der Merkmale bietet eine große Flexibilität bei der Positionierung von Topographieschichten. Darüber hinaus gewährleistet die hohe Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses, dass diese schmalen Merkmale mit gleichmäßiger Tiefe genau geätzt werden. Um Anwender bei ihren Wartungs- und Fehlerbehebungsanforderungen zu unterstützen, ist TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD mit integrierten Diagnose- und Datenerfassungsfunktionen verfügbar. Es verfügt über eine vollständige Regelung zur Optimierung von Prozessergebnissen und Qualitätssicherung. Schließlich ermöglicht eine breite Palette von Optionen und intelligenten Funktionen eine benutzerspezifischere Prozessoptimierung und Anpassung, wodurch die Prozesszykluszeit verbessert wird. Zusammenfassend bietet der DD-Ätzer TEL UNITY 2E 85 überlegene Ätzfunktionen für dielektrische Schichten, enge Fokuskontrolle, großes Prozessfenster, schnellen Ätzdurchsatz, verbesserte Funktionsauslastung, On-Board-Diagnose- und Datenprotokollierungsfunktionen sowie eine breite Palette von Optionen und intelligenten Funktionen.