Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9285006 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um leistungsstarke Produktionsergebnisse zu liefern. Die Geräte dienen der Substratformung und Stapelung sowie der Asche- und Ätzfunktion. Der Ätzer/Ascher ist ein Zwei-Rack-System, das ein Hauptätz-/Aschegestell und ein Offline-Sample-Ashing/Etch-Rack enthält. Das Ätz-/Aschegestell verfügt über eine hochauflösende direkte Antriebsschlitzventiltechnologie, die eine präzise Ätz-/Aschesteuerung und Genauigkeit unter Beibehaltung einer optimalen Bearbeitungsumgebung gewährleistet. Das Gerät enthält auch ein hochmotorisiertes mehrachsiges Drehscheiben-Spin-Modul, das eine gleichmäßige und präzise geometrische Abbildung des Substrats ermöglicht. Die Maschine ist mit einem leistungsstarken Gaspaneelwerkzeug ausgestattet, das zwei Gasquellen für Ätz- und Aschemechanismen bereitstellt. Die Anlage verfügt über einen intelligenten Gaswähler und ein regeneratives Gasreinigungsmodul, das zur Optimierung des Gasdurchsatzes und zur Aufrechterhaltung der richtigen Durchflussregler verwendet werden kann. Darüber hinaus werden hochreine Quellgase durch ein zentral gelegenes Gasfördermodell und einen maßgeschneiderten Gaskrümmer geliefert, der höhere Konsistenz und Leistungsergebnisse gewährleistet. Das Gerät ist mit einem Standard-4 „x 8“ elektrostatischen Quarzrohr ausgestattet, das eine Standard-Ätz-/Ascheplattform bietet. Das System verfügt auch über eine maßgeschneiderte Anpassungskammer, die die Luftzufuhr für einheitliche und konsistente Prozesse synchronisiert, sowie eine vakuumdichte Kammer und eine Suszeptorspule mit breitem Spektrum für eine ausgezeichnete Temperaturstabilität. Das Gerät beherbergt auch eine breite Palette von Prozessgasen von Ar, CO, O2 bis hin zu fortschrittlichen Chemikalien wie SF6, CH4, NF3 und N2O. Darüber hinaus wird eine hochpräzise Prozessüberwachung und -steuerung durch eine synchronisierte Druckmaschine und ein automatisiertes Prozesssteuerungswerkzeug erreicht. Insgesamt ist TEL UNITY 2E 855DD ein fortschrittliches Etcher/Asher-Asset, das hohe Performance und Produktionsergebnisse liefert. Das Modell verfügt über eine überlegene rezirkulierte Gassteuerung, hochauflösende Schlitzventiltechnologie und ein mehrachsiges Drehscheibendrehmodul. Darüber hinaus sind intelligente Gaswähler und regenerative Gasreinigungssysteme so konzipiert, dass Reaktivität und gleichbleibende Prozessstabilität erhalten bleiben. Mit seiner maßgeschneiderten passenden Kammer und Breitspektrum-Suszeptor-Spule ist die Ausrüstung in der Lage, eine außergewöhnliche Temperaturregelung und eine hochpräzise Prozessüberwachung und -steuerung zu erreichen.