Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9286043 zu verkaufen

ID: 9286043
Dry etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher (Prozesswerkzeug) für den Einsatz in der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) Fertigungsanwendungen. Dieses Produktionswerkzeug dient zum Ätzen, Entfernen, Ablagern und Reinigen verschiedener Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, Leiterplatten und anderen elektronischen Komponenten verwendet werden. TEL UNITY 2E 855DD verwendet ein chemisch reaktives Plasma, um Produkte und Komponenten zu ätzen oder zu reinigen. Mit diesem Verfahren kann der Laser Materialien auf der Oberfläche eines Substratmaterials verdampfen und wegätzen. Es verfügt auch über ein 50 kHz, 1,3 kW HF-Netzteil, das verwendet wird, um eine saubere, konsistente und gleichmäßige geätzte Oberfläche zu erzeugen. Die Maschine verwendet auch Druck- und Temperaturniveaus, um die Ätzrate der Substratmaterialien zu steuern. TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD verfügt auch über mehrere Gaseinstellungen, die entsprechend den Prozessanforderungen eingestellt werden können. Übliche Prozessgase sind Argon, Sauerstoff, Stickstoff und Fluor. Diese Gasmischungen werden verwendet, um Ätzgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit des Verfahrens zu erleichtern. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen hochgenauen Quarzquarz-Thermistor-Einsatz, mit dem die Temperatur in der Ätzkammer gemessen und im gewünschten Bereich zum Ätzen und Reinigen gehalten wird. UNITY 2E 855 DD verfügt auch über ein Touchscreen-Anzeigesteuersystem, das einfachen Zugriff auf Informationen im Zusammenhang mit dem Prozess wie Echtzeit-Ätzrate, Gaseinstellungen, Temperatur, Kammerdruck und mehr bietet. Es ermöglicht Benutzern auch, Ätzraten entsprechend den Bedürfnissen des Prozesses einzustellen und erforderliche Anpassungen vorzunehmen. Alle diese Optionen ermöglichen präzise und konsistente Ergebnisse. Darüber hinaus ist UNITY 2E 855DD mit einer großen 12-Zoll-Vertikalverriegelungskammer und -abdeckung ausgestattet, die den Effekt von Kontaminationen während des Ätzvorgangs minimiert. Es verfügt auch über integrierte Sicherheitssysteme, die alle Prozessparameter wie Leistung, Gasfluss, Vakuum, Temperatur und Druck während des Betriebs überwachen und pflegen, um den Bedienern Ruhe zu bieten. UNITY 2 E 855 DD ist ein fortschrittliches Ätz- und Ascherwerkzeug, das für präzise, einheitliche und konsistente Ätz- und Reinigungsprozesse in CMP-Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Mit seinen mehreren Gaseinstellungen, Temperatur- und Druckregelungen, Monitoren und integrierten Sicherheitssystemen ist dieses Prozesswerkzeug auf Benutzerfreundlichkeit und zuverlässige Leistung ausgelegt.
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