Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI #9285005 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI ist ein Hochleistungs-Ätzgerät, das in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Das System eignet sich ideal zum Ätzen von hochpräzisen Strukturen auf einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Metallen. Die Einheit ist in der Lage, Merkmalsgrößen zwischen 10 und 1000 nm zu produzieren und kann sowohl für Trocken- als auch Nassätzen verwendet werden. Die Maschine besteht aus zwei Hauptkomponenten; die Ätzkammer und die Stromquelle. Die Ätzkammer bietet eine Hochvakuumumgebung zum Ätzen und eine Schutzatmosphäre für das geätzte Material. Die Stromquelle besteht aus einem Hochfrequenzgenerator und einem Leistungsregler, die ein elektrisches Wechselfeld zur Aktivierung des Ätzprozesses erzeugen. Die elektrische Energie wird in die Ätzkammer zurückreflektiert, mit der die reaktive Spezies zum Werkstück hin angetrieben wird. Das Werkzeug hat einen Prozessgaseinlass und ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasen zu handhaben, einschließlich CF4, CHF3 und ArCl. Diese Gase werden verwendet, um verschiedene chemische Spezies in der Ätzkammer zu bilden. Die Kammer ist mit einem Rührgut ausgestattet, das das Prozessgas und die energetischen Ionen innerhalb der Kammer zirkuliert, um gleichmäßige Ätzverteilungen über das Werkstück zu gewährleisten. Am wichtigsten ist, dass TEL Unity 2E 855 DI hochpräzise und präzise steuerbar ist. Das numerische Steuermodell ist in der Lage, die elektrischen Parameter wie Frequenz- und Strompegel zu variieren und die Ätzrate zu regeln und beizubehalten. Darüber hinaus ist es in der Lage, die Ätzprozessparameter wie Druck, Temperatur und Gasstrom genau zu steuern. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI ein fortschrittlicher Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für präzise Mikrostrukturen in der Mikroelektronikindustrie eingesetzt wird. Das Gerät ist in der Lage, die Parameter für gleichmäßige Ätzverteilungen und gleichmäßige Ätzzusammensetzung über das Werkstück exakt zu steuern. Das erzeugte elektrische Wechselfeld aktiviert den Ätzprozess, wobei die Ätzrate genau gesteuert wird, was hochpräzise Mikrostrukturen ermöglicht.