Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #293594402 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD
ID: 293594402
Wafergröße: 8"
Oxide etchers, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Unity 855DD ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung für eine breite Palette von Materialien, von SiO2 bis Polysilizium. Es handelt sich um ein induktiv gekoppeltes Plasmaätzsystem (ICP), mit dem verschiedene Substratmaterialien präzise geätzt werden können. Es ist auch mit einer selbstreinigenden Funktion ausgestattet, um eine hohe Betriebseffizienz bei minimalen Ausfallzeiten zu erhalten. TEL Unity 855DD ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet und kann mit Substraten wie Quarz, Gläsern und Metallen arbeiten. Seine Verarbeitungsfähigkeiten umfassen das Ätzen von Oxidschichten, Poly-Silizium-Schicht, Siliziumnitrid-Schichten und Brechungsindizes. Es ist auch in der Lage, mit dielektrischen, Polyimid und low/high-k dünnen Folien zu arbeiten. Diese Ätzmaschine wird auch zur hochpräzisen Strukturierung und Profilierung auf Substraten eingesetzt. TOKYO ELECTRON Unity 855DD ist mit einem Dreifachfrequenzgenerator und einem Frequenzanpassungsmodus ausgestattet, der die Frequenzreflexion der ICP-Plasmaquelle signifikant reduzieren kann. Der eingebaute Frequenztuner hilft dem Gerät auch, eine präzise ICP-Plasmaquellenanpassung zu erzielen. Es ermöglicht der Maschine auch, die Ätzrate zu beschleunigen oder zu verlangsamen. Die Vielzahl der verfügbaren Einstellmöglichkeiten optimiert je nach Anforderung den Ätzprozess für unterschiedliche Materialien. Unity 855DD verfügt zudem über ein intelligentes Steuerungswerkzeug, das bei der Prozessoptimierung hilft. Dies trägt dazu bei, dass der Ätzprozess mit höchster Genauigkeit durchgeführt wird. Die intelligente Steuerung hilft, die Fehlermöglichkeit zu reduzieren und kann Fehler beim Ätzen erkennen und kompensieren. Das Modell ermöglicht es Benutzern auch, vorherige Auftragsparameter zurückzurufen, was einen schnellen und effizienten Betrieb beim Einrichten eines neuen Ätzstapels ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON Unity 855DD ist eines der fortschrittlichsten Ätzsysteme auf dem Markt und ermöglicht ein effizientes und präzises Ätzen einer Vielzahl von Materialien. Seine vielseitigen Fähigkeiten machen es zu einem nützlichen Werkzeug für zahlreiche Fertigungsprozesse. Mit den verschiedenen Optimierungs- und Steuerungsfunktionen der Geräte kann TEL Unity 855DD eingesetzt werden, um für jeden Ätzauftrag bestmögliche Ergebnisse zu erzielen.
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