Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #9051321 zu verkaufen
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ID: 9051321
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Oxide etcher, 8"
(2) Chamber
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity 855DD ist ein hochspezifizierter Plasmaätzer/aher, der von TEL (TOKYO ELECTRON) Ltd. entwickelt wurde. Dieser Ätzer/Ascher hat die Fähigkeit, hochpräzises Plasmaätzen von Leiterplatten, SiGe-Substraten, Wafern und Nanomaterialien anzubieten. Es ist auch in der Lage, die gleichen Materialien mit außergewöhnlicher Präzision Plasma zu aschen. Das 855DD nutzt ein Hochgeschwindigkeitsimpulsnetzteil, so dass es mit einer hohen Arbeitsbelastbarkeit arbeiten und den Verschleiß an Elektroden minimieren kann. Es verfügt über eine unabhängige Dual-Zone-Plasmasteuerung, die sowohl das Ätzen als auch das Aschen von bearbeiteten Substraten ermöglicht. Die Dual-Zone-Steuerung ermöglicht eine höhere Ätzgleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit. Das 855DD ist auch mit langlebigen Materialmischrohren ausgestattet, wodurch eine gleichmäßige Abkühlung der Substrate während der Ätz- und Ascheprozesszyklen gewährleistet ist. Sie bieten Anwendern überlegene Flexibilität beim Ätzen und Auswerten, die sie tun müssen. Das 855DD verfügt über eine 48-Zoll-Sichtkammer, in der zwei separate Ätz- und Aschesysteme untergebracht sind, sowie über ein integriertes Wasserkühlsystem für die Elektroden. Das Gerät kann die Temperatur der Elektroden während des Betriebs automatisch erfassen, um die thermische Beanspruchung zu begrenzen, was zu niedrigeren Fehlerraten und höheren Ausbeuten führen kann. Die 855DD kann sowohl obere als auch untere Oberflächen von Substraten gleichzeitig verarbeiten. Dies verbessert den Durchsatz und macht den Ätz- und Ascheprozess konsistenter und effizienter. Die 855DD verwendet hochwertige fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie, um Anwendern die genaue Überwachung des Ätz- und Ascheprozesses zu ermöglichen. Es bietet Anwendern auch eine Fülle von Prozessoptimierungseinstellungen, so dass sie die Ätz- und Ascheprozesse feinjustieren können, um die besten Ergebnisse für die durchgeführte Aufgabe zu erzielen. Insgesamt handelt es sich bei dem 855DD um einen fortgeschrittenen Ätzer/Asher, der Anwendern überlegene Ätz- und Ashing-Funktionen bietet. Es verfügt über hochpräzise Plasmasteuerung, hohen Prozessdurchsatz und erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, um Anwendern eine einfach zu bedienende Ätz- und Aschelösung mit einer sehr hohen Präzision zu bieten.
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