Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754 zu verkaufen

TEL Unity 85DD/W1 ist ein Ätzer/Ascher für Anwendungen mit ultrahohem Durchsatz. Es bietet erweiterte Funktionen mit erhöhtem Produktionsdurchsatz und fortschrittlicher Prozesskontrolle auf Waferebene. Das Unity 85DD/W1 ist mit einer leistungsstarken Plasmaquelle, einer Niederdruck-Trockengaskammer, einem fortschrittlichen Waferausrichtsystem und einer feinen programmierbaren digitalen Logik zur präzisen Steuerung einzelner Prozessschritte ausgestattet. Die Quelloptionen für die Unity- 85DD/W1 sind sowohl RF als auch DC. Es kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, einschließlich Leiter, Dielektrika und Organik. Die HF-Quelle arbeitet mit einem Frequenzbereich von 600 kHz bis 200 MHz und kann verwendet werden, um Streifenschichten zu reinigen und tiefere Ätzungen in harten Materialien wie Metallen zu erzielen. Die DC-Quelle arbeitet mit niedrigen Frequenzen (bis zu 5kHz) und kann zum Ätzen weicherer Materialien wie Organik und Ätzen von Mikrometer-Merkmalen verwendet werden. Das Unity 85DD/W1 sorgt für eine Niederdruck-Trockenkammer, die den Kammerdruck bei > 0,25 Torr halten kann, während Ätzprozessgase in die Kammer eingeleitet werden. Der Kammerdruck wird automatisch überwacht und gesteuert; dies ermöglicht eine präzise Prozesswiederholbarkeit und -steuerung sowie eine präzisere Waferausrichtung. Die Unity 85DD/W1 ist mit einer großen digitalen Logik im Kern ausgestattet, die Flexibilität und Fähigkeit ermöglicht, individuelle Ätz- und Streifenfolgen nach Bedarf zu programmieren. Die digitale Logik bietet zudem schnelle und erstaunliche Datenverarbeitungsfunktionen, die präzise Leistungsanpassungen im Handumdrehen ermöglichen. Die Unity 85DD/W1 verfügt auch über ein erweitertes Wafer-Ausrichtungssystem. Wafer werden zunächst auf eine Waferkassette geladen und dann auf einen hochpräzisen Wagen gelegt, der in die Ätzkammer bewegt wird. Ein Roboterarm bewegt sich dann zum Standort des Wagens und richtet den Wafer vor dem Ätzen genau aus. Das Unity 85DD/W1 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit einer beeindruckenden Auswahl an Funktionen und Funktionen. Seine fortschrittliche Plasmaquelle, Niederdruck-Trockenkammer, digitale Logik und Wafer-Ausrichtungssystem ermöglichen es, ultrahohe Durchsatzprozesse mit Präzisionssteuerung zu erreichen. Die Unity 85DD/W1 ist der Ätzer/Ascher der Wahl für fortgeschrittene Anwendungen.