Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI #9092959 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI
ID: 9092959
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Oxide etchers, 8", 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DI ist eine spezielle Ätz-/Ascheausrüstung, die für überlegene Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Leistung entwickelt wurde. Es ist ein High-End-Werkzeug für die Photomaskenherstellung, insbesondere in der Halbleiter- und MEMS-Industrie. Das System bietet eine Reihe von Funktionen, mit denen Benutzer die Breite, Tiefe und Gleichmäßigkeit ihrer geätzten Muster genau steuern können. TEL Unity 85DI setzt Volumenfertigungstechnik (VMT) ein, um jeden Belichtungs- und Ätzschritt exakt zu steuern. Dazu gehören die Maximierung der Gleichmäßigkeit und die genaue Auflösung feiner Muster. Eine Reihe von Belichtungswerkzeugen, wie ein SxV-Maskenausrichter und ein E-Strahl-Schreiber, können zur Erstellung der Fotomaske verwendet werden. Diese Einheit soll Muster in einem einzigen Schritt präzise in ein dünnes Resist-Film-Substrat verwandeln. TOKYO ELECTRON Unity 85DI unterstützt eine Vielzahl von Ätztechniken, darunter Plasma Sub-Asher, Plasma-Ascher und Wet Process Prozessoren. Die Plasma Sub-Asher bieten beispielsweise fortschrittliche Plasmaätz- und Trockenätzfunktionen, Trockenaschen und Trockenstrippen. Anwender finden diese Tools nützlich, um kleine Kontaktmuster zu erstellen, insbesondere für Anwendungen wie die MEMS-Fertigung. Unity 85DI bietet auch eine umfassende Suite an Sicherheits- und Umweltmerkmalen. Dazu gehören mehrere chemische Einschließungssysteme, einschließlich einer Flüssigkeitsfiltrationsmaschine und eines chemischen Abfallentsorgungswerkzeugs. Zusätzlich ist dieses Tool mit Glove Contamination Control (GCC) ausgestattet, um das Risiko einer Kreuzkontamination zwischen Wafern zu reduzieren. Darüber hinaus ist die Anlage benutzerfreundlich und effizient gestaltet. Es ist mit einer intuitiven GUI ausgestattet, bietet aber auch Inline-Sensor- und Prozessüberwachungsfunktionen. Auf diese Weise können Benutzer die gesamten Ätz- und Ascheprozesse aus der Ferne beobachten. Das Modell bietet auch verschiedene High-End-Automatisierungsoptionen zur Verwaltung und Optimierung der Produktionsabläufe. TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DI ist aufgrund seiner überlegenen Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Leistung ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Photomasken und die Herstellung von MEMS. Darüber hinaus bietet es den Anwendern hervorragende Sicherheitsmerkmale und die Fähigkeit, Produktionsprozesse zu optimieren. Insgesamt kann TEL Unity 85DI eine wertvolle Ergänzung zu jedem Fertigungslabor sein.
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