Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity 88DD #146068 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity 88DD ist ein Ätzer/Ascher für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Der optische Handkopf mit einer extra großen Anodengröße ist ideal zum effizienten Ätzen und Veraschen von Prozessen mit hohem Seitenverhältnis. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über einen zweistufigen Ätzprozess, der präzise Ergebnisse mit minimalem Dishing, Seitenwandrauhigkeit und Ätzschäden liefert. Dies ermöglicht eine höhere Topographie sowie ein hohes Seitenverhältnis und eine hohe Seitenverhältnislinearität, was zu verbesserten Ausbeuten führt. Darüber hinaus bietet der hochauflösende optische Kopf von TEL Unity 88DD eine überlegene Auflösung und scharfe Kantendefinition für alle Ätz- und Veraschungsanwendungen. Auch in TOKYO ELECTRON Unity 88DD ist eine Hochtemperatur-Argon-Plasmaquelle, die Prozessflexibilität ermöglicht und eine verbesserte Selektivität für alle Trockenätzanwendungen bietet. Eine aktive Abhebefähigkeit steht zur Verfügung, um Strukturen in zentimetergenauen Tiefen zu schaffen, die eine höhere Prozesswiederholbarkeit, Einheitlichkeit und Kontrolle ermöglichen. Die erweiterte Systemverwaltung von Unity 88DD umfasst einen Hostcomputer zur Anzeige von Prozess-, Einrichtungs- und Rezeptdaten sowie Temperatur- und Drucküberwachungssystemen. Auf diese Weise können Benutzer mehrere Parameter gleichzeitig überwachen und simultane Parameter anzeigen, um die vollständige Prozessgenauigkeit sicherzustellen. Eine Remote-Bedienoberfläche bietet sofortigen Zugriff auf alle Komponenten, um eine effektive Prozessverwaltung und Fehlerbehebung zu ermöglichen. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Unity 88DD auf langfristige Zuverlässigkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt, mit einem Lebenszyklus von bis zu 100.000 Operationen, wodurch Anwender höchste Zuverlässigkeit und Leistung erhalten. TEL Unity 88DD ist eine optimale Wahl für modernste Ätz- und Ascheranwendungen für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung.
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