Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist ein hochmoderner Ätzer oder Ascher für den Halbleitermarkt. Mit seinen beispiellosen Verarbeitungsfunktionen sorgt TEL Unity EP für exakte, wiederholbare Gerätegeometrien, unabhängig von der Anwendung. TOKYO ELECTRON UNITY-EP basiert auf einem hochmodularen Konstruktionskonzept, das es ermöglicht, auf eine Vielzahl von Anforderungen zugeschnitten zu werden. Das System besteht aus drei Hauptmerkmalen: einer Prozesskammer, einer Stromversorgung und einem Mikroverarbeitungszentrum. Außerdem sind drei weitere Module enthalten, die zusätzliche Funktionalitäten wie Waferbearbeitung, Nassbankreinigung und Ätzerfassung bieten. Die Prozeßkammer von TEL UNITY-EP ist aus Edelstahl mit einem Hochtemperaturausdehnungskoeffizienten aufgebaut. Die Kammer ist für aggressive Bearbeitungsbedingungen ausgelegt und kann bis zu einem Jahr ohne Wartung kontinuierlich arbeiten. Ein oben montiertes Lastschloss ermöglicht eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitung und einen schnellen Zugriff auf Substrate. Die in TOKYO ELECTRON Unity EP verwendete Stromversorgung ist eine vierstufige Gleichstrom-Impulssteuerung, die präzise und wiederholbare Ätzparameter über eine Vielzahl von Prozessbedingungen erzeugen kann. Dies gewährleistet exakte Geometrien und eine präzise Dichteregelung. Herzstück von UNITY-EP ist das Mikroverarbeitungszentrum, das auf modernster Technologie basiert. Dieser Mikroverarbeitungskern umfasst eine ausgeklügelte lokale und globale Temperaturregelung, erweiterte Prozessüberwachung und PD-Detektion. Das System enthält auch einen Rezepteditor, mit dem Benutzer ihre Ätzrezepte einrichten und automatisieren können. Die drei zusätzlichen Module von Unity EP bieten zusätzliche Verarbeitungsfunktionen. Das Waferbearbeitungsmodul ist darauf ausgelegt, den Prozessdurchsatz zu maximieren und Partikelverunreinigungen zu beseitigen. Das Nassbankreinigungsmodul trägt dazu bei, eine präzise Ätzung sauber und effizient zu gewährleisten. Schließlich bietet das Ätzsensormodul eine präzise Überwachung und Detektion kritischer Ätzparameter. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP von TEL ein hochentwickelter Ätzer oder Ascher für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es funktioniert wie eine gut geölte Maschine und bietet präzise und wiederholbare Geometrien und Dichtesteuerung unabhängig von den Prozessbedingungen. Das Gerät wird durch einen leistungsstarken Cluster von Hardware- und Softwaremodulen unterstützt, der es Anwendern ermöglicht, das Gerät an seine Bedürfnisse anzupassen.