Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist eine hochpräzise Ätz-/Aschemaschine für Anwendungen in der Elektronikfertigung. Es verfügt über ein hochpräzises Ätz-/Aschesystem mit 100nm Regelstabilität und ist in der Lage, Halbleitersubstrate mit Dicken von 200nm bis 10mm zu ätzen/aschen. TEL Unity EP verfügt über ein stufenlos einstellbares Seitenverhältnisfenster (CARW), das die Einrichtung eines benutzerdefinierten Seitenverhältnisfensters ermöglicht. Dies ermöglicht das präzise Ätzen/Aschen bestimmter Gerätegeometrien. Das Gerät ist zudem mit einer hochauflösenden laserbasierten Ausrichtmaschine für verbesserte Genauigkeit und Zuverlässigkeit ausgestattet. TOKYO ELECTRON UNITY-EP nutzt ein Hochvakuum (< 25mbar) zur Verbesserung der Ätz-/Ascheleistung. Dies sorgt für einen sauberen und effizienten Ätz-/Aschezyklus. Das Werkzeug enthält auch eine Hochvakuum-Lastverriegelung, die eine sichere Übertragung von Wafern in und aus dem Asset ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP verfügt über anspruchsvolle Bewegungsstufen-Controller-Funktionen, die Hochgeschwindigkeitsoperationen ermöglichen. Das Modell ist mit einer hochpräzisen elektromechanischen Positionierausrüstung ausgestattet. Dies gewährleistet die genaue Platzierung geätzter oder aschierter Muster. TOKYO ELECTRON Unity EP bietet eine leistungsstarke Software-Suite zur Steuerung vorprogrammierter und anpassbarer Ätz-/Ascheprozesse. Dazu gehören erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen. Die Software verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche, die das Einrichten von Ätz-/Ashing-Prozessen vereinfacht und dem Benutzer erweiterte Überwachungs- und Steuerungsfunktionen bietet. TEL UNITY-EP ist hochflexibel und kann für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen konfiguriert werden. Es kann zum Ätzen/Aschen einer Vielzahl von Substraten verwendet werden, einschließlich Silizium, Verbundhalbleiter und III-V-Materialien. Es kann auch zur Durchführung mehrerer Ätz-/Ascheprozesse auf einem einzelnen Wafer verwendet werden. UNITY-EP ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Ätz-/Veraschungssystem, das Anwendern die für kritische Anwendungen in der Elektronikfertigung erforderliche Flexibilität und Genauigkeit bietet.