Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9144791 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP
ID: 9144791
Wafergröße: 8"
Ti / TiN CVD cluster system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist ein leistungsstarker, multifunktionaler Ätzer/Ascher. Es wurde entwickelt, um dem Anwender eine zuverlässige, kosteneffiziente und breite Prozessfähigkeit zu bieten. Die zugrunde liegende Architektur von TEL Unity EP-Geräten basiert auf mehreren spezialisierten Quellcontroller-Boxen, einschließlich eines Gasversorgungssteuerungssystems, eines Prozessmonitors und einer Steuerungseinheit. Diese einheitliche Architektur erleichtert nicht nur die Prozessoptimierung und minimiert die Benutzerinteraktion, sondern führt auch zu überlegener Einheitenleistung. Hinsichtlich der Prozessfähigkeit ist TOKYO ELECTRON UNITY-EP Ätzer/Ascher in der Lage, hohe Ätz-/Trocknungsfaktoren in einer Vielzahl von Ätz-/Trocknungschemikalien zu liefern. Mit Temperaturen von 100 bis 500 Grad Celsius und einem Eingangsdruck von bis zu 0,5 Pa ist es in der Lage, Wafer aus einer Vielzahl von Materialien wie Si, GaAs und InP zu verarbeiten. Eine Vielzahl von Optionen stehen zur Verfügung, um TEL UNITY-EP Ätzer/Ascher anzupassen, einschließlich verschiedener Gasleitungsmodule, mechanischer Rohrwechsler und Fernzugriffsmodule. Darüber hinaus ist die Maschine flexibel ausgebildet und ermöglicht die Integration verschiedener anderer verfügbarer Optionen und Upgrades, wie Laserinterferometer, Türverriegelungswerkzeug oder Autopuls-Pilotbogen. Schließlich ist TEL/TOKYO UNITY-EP Ätzer/Ascher entworfen, um ein hohes Maß an Sicherheit und zuverlässige Leistung durch mehrere Design-Funktionen zu gewährleisten, wie angereicherte Sicherheitsfunktionen, Start/Mute-Funktionen und eine optionale Auto-Puls-Bogen-Asset. Zu diesem Zweck entspricht es auch den internationalen Sicherheitsvorschriften und Normen und liefert einen sicheren und effizienten Ätz-/Trocknungsprozess. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON/TOKYO Unity EP etcher/asher eine ideale Wahl für anspruchsvolle Ätz-/Trocknungsanwendungen, die hohe Leistung und robuste Prozessfähigkeiten erfordern. Die Kombination aus energieeffizientem Rahmen, zuverlässiger Architektur und intuitiven Bedienelementen führt zu einem Produkt, das einfach zu bedienen und hocheffizient ist.
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