Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP
ID: 9180754
CVD System.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es ist ein Werkzeug mit erweiterten Funktionen, die Ätzrate zu erhöhen, bieten einheitliche Ätzung und ausgezeichnete Prozess Reproduzierbarkeit. Es nutzt Zwei-Energie-Betrieb mit Elektronenstrahl und Ionenstrahl-Ausgänge für präzise Musterung von Materialien. Es ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung von Hochleistungsmustern mit minimierter Defektivität. Die Hauptmerkmale von TEL Unity EP sind seine leistungsfähige Entladekammer und seine Stapelstruktur-Verarbeitungssequenz. Seine Entladungskammer ist mit einem hochwirksamen Isolator ausgekleidet, der eine Wärmeverbesserung verhindert, während die hocheffiziente Gaskammer eine ideale Genauigkeit für Ätz- oder Ascheprozesse bietet. Dies wird durch eine hochpräzise dreidimensionale Strukturierung ermöglicht, die ein zweistufiges Ätzen (oder Aschen) ermöglicht. TOKYO ELECTRON UNITY-EP bietet darüber hinaus eine verbesserte Gasversorgungseinrichtung mit einer Gasversorgung vom Verteilertyp und einem neu konzipierten Einspritzsystem. Erstere bietet eine gleichmäßigere Gasförderung und letzteres sorgt für einen höheren Gasdruck und ermöglicht eine gleichmäßige Verarbeitung auf einem breiten Spektrum von Substraten. Unity EP unterstützt auch den Einsatz von Multi-Etch Plan (MEP), einer fortschrittlichen Software zur Leistungssteuerung. Dies ermöglicht es Benutzern, die Ätz- und Substrattemperatur des Geräts, die Ätzrate und die Gasmischeinstellungen mit Leichtigkeit zu steuern. Als zusätzlichen Bonus kann MEP verwendet werden, um Daten für bis zu zwanzig Tage zu speichern, damit Benutzer ihre Ätzprozessverläufe aufzeichnen und verfolgen können. TEL UNITY-EP verfügt zudem über eine Standard-Geräteverwaltungseinheit. Dies ermöglicht den Fernbetrieb des Geräts und enthält auch Informationen über gerätespezifische Hardware- und Softwareinformationen. Schließlich gibt es eine umfassende Wartungsmaschine. Mit diesem Tool können Anwender Ätz- und Ascheprozesse, Fehlerverläufe und Routinewartungen verwalten und überwachen. Abschließend ist UNITY-EP ein fortgeschrittener Ätzer/Ascher, der sich auf eine einheitliche Ätzung und ausgezeichnete Prozessreproduzierbarkeit konzentriert. Seine hochentwickelten Funktionen ermöglichen eine präzise Strukturierung von Materialien, verbesserte Gasversorgungssysteme und eine umfassende Wartung. Mit seiner leistungsfähigen Fähigkeit, Hochleistungsmuster mit minimaler Defektivität zu produzieren, ist dieser Ätzer/Ascher ein unverzichtbares Werkzeug in der Halbleiterindustrie.
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