Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9188580
Wafergröße: 8"
CVD System, 8"
(3) TiN Chambers
Electrical cabinet included.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist ein fortschrittlicher, hochleistungsfähiger Elektronenstrahl-Ätzer/Ascher. Es verwendet eine einzigartige Kombination aus Hochdurchsatzverarbeitung und Niedrigenergieätzen, um hochpräzise Muster auf verschiedenen Materialien zu erzeugen. TEL Unity EP verwendet eine Elektronenstrahl-Abtastausrüstung und eine Vielzahl von Mustererzeugungstechniken, um fein detaillierte Oberflächenmerkmale auf verschiedenen Substraten zu erstellen. Um hohe Präzision zu sichern, wird ELEKTRONEINHEITS-EP VON TOKIO mit einem äußerst genauen Balkenpositionsregelsystem und einer fortgeschrittenen, schnelllaufenden Balkenablenkungskontrolleinheit ausgestattet. Die Elektronenstrahl-Abtastmaschine ist in der Lage, weiträumig gleichmäßige Ätzmuster bereitzustellen. Die Maschine ist auch in der Lage, verschiedene Prozessmerkmale auszurichten, indem sie die gleiche Strahlposition anpasst, um die Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP mit einem leistungsstarken Halbleitermustergenerator ausgestattet. Dieser Mustergenerator ist in der Lage, schnell sehr komplizierte Muster zu erzeugen, die verwendet werden, um präzise Merkmale auf Materialien wie Silizium-basierte Wafer zu ätzen. Die von Unity EP erstellten detaillierten Muster ermöglichen hochentwickelte Ätztechniken, die mit der traditionellen „Blanking“ -Methode nicht möglich sind. Das Ätzen mit TEL UNITY-EP ermöglicht einen Hochdurchsatzbetrieb mit extrem niedrigen Verarbeitungstemperaturen. Durch diesen niederenergetischen Ätzprozess wird das Risiko eines ungleichmäßigen Ätzens durch hohe Temperaturgradienten reduziert. Diese Ätzeffizienz ermöglicht es, komplexe Muster zu erstellen und gleichzeitig die Kerneigenschaften des Substrats zu erhalten. Die Maschine ist auch in der Lage, die Kantenschärfe zu erfassen sowie das Winkel- und Seitenverhältnis der geätzten Merkmale zu steuern. TOKYO ELECTRON Unity EP verfügt zudem über ein hochauflösendes Videovisualisierungswerkzeug und eine präzise Strahlenergiesteuerung. Dieses Asset verbessert die Genauigkeit der Mustererzeugung und ermöglicht es dem Modell, Muster im gesamten Wafer korrekt anzupassen. Insgesamt ist UNITY-EP ein leistungsstarker und hochpräziser Elektronenstrahl-Ätzer/Ascher, der als Industriestandard für die Erstellung ultrapräziser Muster gilt.
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