Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9208203 zu verkaufen
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ID: 9208203
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
CVD System, 8"
(2) Ti chambers
(2) TiN chambers
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die für hochauflösende Hochdurchsatzverarbeitung entwickelt wurde. Das System verfügt über drei Hauptkomponenten: eine Basisstation, eine Präzisionsplasmaquelle und eine abnehmbare Kammer. Die Basisstation bietet sowohl Prozesssteuerung als auch eine Monitorschnittstelle. Die Plasmaquelle liefert hochenergetisches, hochdichtes Plasma, das eine optimale Ätz- und Ascheleistung gewährleistet. Die abnehmbare Kammer beherbergt das Werkstück, bietet ideale Kammerbedingungen und ermöglicht einen einfachen Austausch zwischen verschiedenen Ätz-/Ascheprozessen. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungs- und Überwachungssystemen ausgestattet, um eine effiziente und genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Die präzise Plasmaquelle wird durch eine fortschrittliche digitale Stromversorgung geregelt, die für jeden Zyklus präzise und konsistente Leistungsstufen bietet. Die Borddiagnosesysteme überwachen die Werkstücktemperatur, Plasmaentladung, Ätz-/Aschegeschwindigkeit und andere Größen, wodurch Prozessabweichungen frühzeitig erkannt werden können. Zusätzliche Werkzeugsicherheitsmerkmale sind enthalten, um die Integrität des Geräts und der Umgebung zu schützen. TEL Unity EP ist in der Lage, verschiedene Ätz- und Ascheprozesse zu handhaben, einschließlich Plasmaätzen, Nassätzen, physikalischem Ätzen und einer Isolierätzung. Plasmaätzen und physikalisches Ätzen werden durch das programmierbare Steuermodell des Asset unterstützt. Komplexe Ätz- und Ascheprozesse werden schnell und präzise durchgeführt und ermöglichen hohe Durchsatzprozesse. TOKYO ELECTRON UNITY-EP enthält außerdem eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen wie die automatische Diagnose und einen Inline-Sensor, der eine Echtzeit-Prozessbeobachtung und Kontrolle von Ätz-/Aschezyklen ermöglicht. UNITY-EP ist für eine robuste, hochpräzise Verarbeitung ausgelegt. Das Gerät verfügt über fortschrittliche Mikroverarbeitungstechniken und eine Regelung, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Das System ist zudem hochleistungsfähig und ermöglicht lange Prozesszyklen und minimierten Energieverbrauch. Alle für das Gerät verwendeten Komponenten werden auf Höchstleistung getestet, um maximale Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP ist eine Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die ultrahochauflösende Verarbeitung entwickelt wurde. Mit fortschrittlichen Prozessleitsystemen, Präzisionsplasmaquelle und abnehmbarer Kammer sorgt das Werkzeug für eine optimale Ätz- und Ascheleistung für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen. Die Anlage ist hochenergieeffizient und zuverlässig und bietet eine robuste Lösung für die Hochleistungs- und Hochdurchsatzverarbeitung.
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