Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9237259 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP
ID: 9237259
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
CVD System, 8" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für photovoltaische Zellanwendungen entwickelt wurde. Dieses System ist eine kollaborative Anstrengung zwischen TEL und TOKYO ELECTRON, mit jedem bietet seine eigene einzigartige Expertise auf dem Gebiet. Es wurde entwickelt, um stabile und gleichmäßige Ätz- und Ascheprozesse zur Verbesserung der Effizienz und Ausbeute von Photovoltaikzellen bereitzustellen. TEL Unity EP integriert ein 2-Kammer, fortschrittliches Design und ist auf einer neu entwickelten Waferboot-Struktur aufgebaut, die für das gleichmäßige Ätzen und Aschen von dünnen und dicken Siliziumscheiben optimiert ist. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine optimale Wafer-Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit ermöglicht, mit einer einzigartigen Plasma-Abgabemaschine, die die Unterschiede in der Plasmaenergie reduziert und damit die Verarbeitungsvariation verringert. Dieses Werkzeug verwendet ferner eine echte zweiteilige Waferboot-Konstruktion, die die Ätzgleichmäßigkeit zwischen der Ober- und Unterseite der Waferpartie erheblich verbessert. Darüber hinaus arbeitet das fortschrittliche Wafer-Boot-Design mit einer regenerativen Abgasanlage zusammen, um sicherzustellen, dass alle Plasmen bei gleichmäßigen Temperaturen sind und einen konsistenten Prozess ermöglichen. TOKYO ELECTRON UNITY-EP bietet zudem die höchsten verfügbaren Plasmaleistungsdichten und sorgt für ein exzellentes Ätzen von Photovoltaikzellen. TOKYO ELECTRON Unity EP erreicht mit seinen verbesserten Ätzgleichförmigkeitsfunktionen eine bis zu 6fache Verbesserung der Ätzgleichförmigkeit im Vergleich zu Industriestandards. Es bietet auch eine breite Palette von Prozessrezepten zum Ätzen und Aschen, so dass Benutzer mehr Flexibilität bei der Anpassung ihres Prozesses. Unity EP kommt auch mit erweiterten Funktionen wie einem Wafer-Verlust-Zähler-Modell, Auto-Tune-Plasma-Steuerung und Ferndiagnose ausgestattet. Diese Eigenschaften, die mit großen Fähigkeiten wie Echtzeitoblatentemperaturausgabe verbunden sind, machen TELEFON / ELEKTRONEINHEITS-EP VON TOKIO eine ideale Wahl für Photovoltaikzellenverarbeitungsanwendungen. TEL UNITY-EP ist ein umfassendes Werkzeug zur Verarbeitung von Photovoltaikzellen. Seine erweiterten Ätz- und Aschefunktionen, kombiniert mit zuverlässigen Prozessrezepten und fortschrittlichen Funktionen, machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jeden Photovoltaik-Zellentwickler oder -forscher. Darüber hinaus bietet UNITY-EP eine verbesserte Prozesseffizienz und Ausbeute, wodurch Entwickler von Photovoltaikzellen eine maximale Produktivität aus ihren Zellen erzielen können.
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