Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9283079 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity EP (auch als Ätzer/Ascher bekannt) ist eine hochentwickelte plasmabasierte Ätz- und Aschevorrichtung für eine schnelle, saubere und gleichmäßige Probenbearbeitung. Es vereint die Möglichkeiten des Plasmaätzens und Aschens, eines Prozesses, der Material entfernt, um mikroelektronische Geräte zu einer kompakten, automatisierten Einheit zu erstellen. TEL Unity EP nutzt die Leistung einer dielektrischen Entladungssperre (HDBD), um hohe Ätzraten und Substratselektivität zu erreichen. Diese Technologie wurde entwickelt, um sowohl in nassen als auch in trockenen Prozessen zu arbeiten und den Anwendern die Flexibilität zu geben, verschiedene Arten von Proben zu verarbeiten. Die Plattform basiert auf einer intuitiven offenen Architektur und bietet eine voll programmierbare Steuerung aller Prozesse. TOKYO ELECTRON UNITY-EP verfügt außerdem über eine intuitive Benutzeroberfläche und eine grafische Anzeige, mit der Benutzer Ätz- und Ascheparameter überwachen und überwachen können. Dieses System kann verwendet werden, um Leiterplatten mit einer Auflösung von 10 Mikrometern oder mehr zu strukturieren und Materialien von 0,5 mm zu ätzen. TOKYO ELECTRON Unity EP-Einheit ist für die Produktion von integrierten Schaltungen (IC) optimiert und bietet mehrere Funktionen, die IC-Fertigungen erleichtern. Beispielsweise ist die Maschine mit einem Quarzsubstrathalter ausgestattet, der einen Hochtemperaturbetrieb ermöglicht und für Ätzgase wie Stickstoff, Argon, Sauerstoff und Argon-Sauerstoff-Gemische geeignet ist. Es kann auch eine hohe Ätzrate über eine breite Palette von Parametern erreichen. Die Plattform umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie Gasdetektion, Überdruckschutz und einen Inertgaskreislauf. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einer Ionenfalle ausgestattet, mit der die Instabilität der Plasmaquelle bei Plasmaätzprozessen reduziert wird. Diese Funktion gewährleistet Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit im Ätzprozess. Unity EP verfügt zudem über ein hohes Maß an Flexibilität und unterstützt eine breite Palette von Ätzchemien und Substraten. Sie ist in der Lage, sowohl nichtleitende als auch leitfähige Materialien wie Polymere und Metalle zu verarbeiten und eignet sich zum Ätzen verschiedener Vias, Kontaktlöcher und Merkmale auf einem Substrat. Das große Asset-Volumen ermöglicht es Anwendern auch, große Substrate einfach unterzubringen und gleichzeitig mehrere Proben zu ätzen. Insgesamt ist UNITY-EP ein leistungsstarkes und vielseitiges Ätz- und Aschemodell, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Substraten und Ätzprozessen zu handhaben. Mit seinen fortschrittlichen Fähigkeiten und seinem intuitiven Design ist es ein ideales Werkzeug für eine schnelle, saubere und einheitliche Probenbearbeitung in der IC-Fertigungsindustrie.