Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 850DI ist ein zuverlässiger und leistungsstarker Ätzer/Ascher für mittelgroße Prozesse. Es bietet hervorragende Ätz- und Aschefunktionen, hohen Durchsatz und wiederholbare Prozessergebnisse. TEL Unity II 850DI ist ein induktiv gekoppelter Plasmaätzer (ICP), der mit bis zu 1000W Plasmaquellenleistung arbeiten kann. Es ist mit einem einzigartigen oktaedrischen Elektrodenreaktor konstruiert, der die effiziente Lieferung von hoher Plasmaleistung ermöglicht und leistungsfähiges, effizientes Ätzen und Aschen ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über einen hochpräzisen Wafer/Gas-Aligner und einen niedrigen Reibungsbewegungskoeffizienten, der die Gleichmäßigkeit der Strukturierung maximiert und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert. Das Gerät ist mit einem einzigartigen ET-Steueralgorithmus ausgestattet, der den Gasfluss zusammen mit der externen Druckregelung automatisch einstellt. Der Regelalgorithmus ist in der Lage, Gasfluss- und Druckschwankungen automatisch auszugleichen und dabei die Prozessbedingungen gleichmäßig zu halten, die Rauheit der Leitungskante und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu minimieren. Die Maschine enthält auch einen Gaszufuhrleitungsmonitor, der Echtzeit-Gasdruck- und Strömungsmessung bietet. Das Werkzeug ist auch in der Lage, mit hochpräzisen Teileprozessen und verfügt über unabhängige Kammerheizfähigkeit für verbesserte Temperaturgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. Es kommt mit eingebauten AR/VF Detaillierung sowie variable Corona-Kontrolle für zuverlässige SE/BE/Z-Corona-Quellen. Die In-situ-Diagnose gewährleistet die Wafer-Verarbeitungskonsistenz, während sich ein adaptiver reaktiver Gasmonitor automatisch an die Prozessbedingungen anpasst. TOKYO ELECTRON Unity II 850DI bietet auch überlegene Leistung und extrem niedrigen Schwefeldioxidverbrauch. Es verfügt über erweiterte Wafer-Handling-Funktionen wie ein In-situ-Wafer-Ritzel und Plasma-Guider für hochpräzise Wafer-Ausrichtung zusätzlich zu einem hohen zuverlässigen Wafer-Tisch ohne Aufwärmzeit. Die Anlage erfüllt moderne regulatorische Standards und begrenzt die Partikel- und Schwefeldioxidemissionen. Unity II 850DI ist die ideale Wahl für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse, die Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und hervorragende Prozessfähigkeit bieten. Mit hohem Durchsatz, hocheffizientem Betrieb, extrem geringen Schwefeldioxid-Emissionen und In-situ-Diagnostik ist es darauf ausgelegt, alle Kundenerwartungen umfassend zu erfüllen.